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点衍射干涉仪中小孔衍射波面误差分析
第28卷第12期 光 学 学 报 V01．28，No．12
2008年12月 ACTA December，2008
OPTICASINICA
文章编号：0253—2239(2008)12—2321—04
点衍射干涉仪中小孔衍射波面误差分析
马 强1’2 刘伟奇1 李香波1’2 康玉思1’2 魏忠伦1 冯 睿1 柳 华1
，1中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，吉林长春130033、
、 2中国科学院研究生院，北京100039 ，
摘要针孔或光纤直径的大小是影响点衍射干涉仪检测精度的重要因素，在实际检测中须根据检测任务的精度要
求来选择dqL的尺寸。基于标量衍射理论，仿真计算了dqL尺寸引起的衍射波面相对标准球面偏离的误差。结果
表明，当小孔直径为2．5“m，数值孑L径(NA)为0．3时，与小孔有关的光学系统误差峰值(PV)约为0．07nm。仿真
方法和计算结果为针对各种高精度面形检测任务而设计点衍射干涉仪和分析其精度提供了理论和数据参考。
关键词 光学检测；点衍射干涉仪；标量衍射；衍射波面误差
中图分类号0436．1 文献标识码A doi：10．3788／A02321
ErrorinPointDiffraction
ofDiffractionWavefront
Analysis
Ma Liu Li Yusil，2Wei
Qian91·2 WeiqilXiangb01’2Kang Zhonglunl
RuilLiuHual
Feng
State Institute Mechanicsand
Laboratory ofOptics，Fine
r Key ofAppliedOptics，Changchun Physics，]
仇inese 130031，观ina
ofSciences，Changchun，Jilin
Academy
2
Graduate Chinese
of Academyof 100039，China
【 University Sciences，Beijing J
AbstractThediameterof orfiberiSacriticalelementthataffectsthe of diffraction
pinhole precisionpoint
interferometer(PDI)．Thedimensionofthe iSdeterminedvariationalof measurement．
aperture by accuracypractical
Basedonthescalardiffraction deviationbetweendiffractionwavefrontand arousedthe
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