三层微桥法测量金属薄膜力学性能的研究.pdfVIP

助 触 财 料 2008年第6期(39)卷 三层微桥法测量金属薄膜力学性能的研究。 ．周志敏，周 勇，曹 莹，丁 文 (1--海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与细微技术教育部重点实验室，上海200030) 摘要：提出了单层微桥法厚度极限的估算方法，并 表1和2分别列出不同长度和厚度微桥小挠度理论极 提出在单层NiFe薄膜微桥法测试基础上，对厚度不适限结果．假定R响为设备最小可探测刚度值(本实验 于单层微桥法的Cu薄膜，采用Cu／NiFe／Cu3层微桥 R岫大约为100N／m)，则微桥刚度表达式如下， 法来测量其力学性能。采用MEMS技术加工了NiFe 。 R；—Q—L—．血—i,———W——i—d—t—h (1) 和Cu／NiFe／Cu微桥，采用纳米压痕仪测量了其载荷一 戳‰咄 挠度关系，实现了对Cu薄膜力学性能的测量． 微桥所需最小宽度表示如下： 关键词：微桥实验；微机电系统；金属薄膜；力学性能 Widthn一坠吐生虹．． (2) 中图分类号：TN4 文献标识码：A Wlltalt 文章编号：1001—9731(2008)06—0968-03 计算结果如表1、2所示，可看出，微桥最小宽度随 厚度减小逐渐减小，理论上其刚度可通过增加宽度直 1 引 言 至超过最小值来提高。但微桥理论是基于平面应力条 对MEMS常用薄膜力学性能如弹性模量、残余应件，其宽度不能大于长度。从表1可看出，Cu微桥厚 力表征手段的研究一直是一个备受关注的领域[1～． 度lttm时，最小宽度远大于长度，不适于单层微桥法 Zhang等人提出了新型微桥实验测量方法：以纳米压 测量。而从表2可看出，对于NiFe薄膜，即使在厚度 痕仪在MEMS微桥中心施加线性载荷并记录载荷一挠 为0．5pm时，最小宽度也远小于长度，可以采用单层 度关系，在建立的力学模型基础上，实现了对Si；N。薄 微桥法测量。 、 膜弹性模量、残余应力的同时测量[3】，该方法克服了衬 表1不同长度和厚度的Cu薄膜微桥的小挠度理论 底影响，保留了薄膜中应力状态，非常新颖。Zhou等 极限及薄膜的最小宽度 ’ 人进一步把该法拓展到金属薄膜的测量上，发现与陶 Table1Thesmalldeflectionlimitsandthe 瓷膜相比，金属膜所需微桥尺寸更长【．J]。此外，薄膜 theory minimumwidthfortheCufilm 厚度如减小到一定值，其刚度将小于纳米压痕仪所要 withdifferentand 求刚度范围，导致微桥实验不能进行，此时可采用和其 length 它已知力学性能薄膜形成复合、多层结构，从而增强其 刚度，达到测量要求，Zhang等人已采用双层和3层微 ‘ L Q咄 Uh_ WidtII