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基于声光调制的激光粗糙度测量技术研究.pdf
第35卷第6期 压电与声光 V01．35No．6
2013年12月 PIEZOELECTRICS＆ACOUSTOC)PTICSDec．2013
文章编号：1004—2474(2013)06-0797-04
基于声光调制的激光粗糙度测量技术研究
王辉林，刘春晖
(山东理工大学仪器科学与技术系，山东淄博255049)
摘要：随着机械工件表面加工技术的日益提高，对高质量工件表面粗糙度进行实时、准确测量的需求越来越
大。为了满足这一需求，该文提出了一种高精度，实时在线，非接触式测量的方法，建立了基于激光多普勒效应测
量表面粗糙的数学模型。该模型中利用激光多普勒原理实现对纳米级微小位移的测量；采用声光调制的方法降低
了系统噪声，提高了测量分辨力；通过光外差法的光路减小了外界干扰对测量精度的影响；信号处理过程中采用了
高精度频率电压(f／V)转换电路和快速傅里叶变换(FFT)算法有效提高了系统的精度。实验结果表明，该系统用
于工件表面粗糙度测量可行，且精度可达1％o。这表明该系统不仅可用来测量表面粗糙度，还可用来校准其他设
备。
关键词：声光调制；激光多普勒；光外差法；表面粗糙度；在线检测
中图分类号：TN209 文献标识码：A
on on Basedon
Surface
StudyMeasuringTechnology Roughness
Laser Modulation
Acousto-optic
WANGHuilin。LIUChunhui
(InstrumentScienceand of
TechnologyDept．，ShandongUniversityTechnology，Zibo255049，China)
the ofmechanical surface for
Abstract：With needsreal—time
improvement workpieceprocessingtechnology，the
andaccuratemeasurementof surfaceare ordertOmeetthis newmethodof
highquality increasing．In demand，a
measurementof surface is anda
highaccuracy，real-time，non—contactworkpieceroughnesspresented
mathema．tical
modelof surface basedonLaser effectisbuilt．Laser isusedtOre—
measuringroughness Doppler Dopplertechnique
alizethemeasurementofnanometer modulationisusedtO the
displacement．Acousto—
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