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液晶光栅相控阵偏转波前测量方法研究.pdf
第36卷第5期 激 光 技 术 V01．36，No．5
2012年9月 LASERTECHNOLOGY
文章编号：1001—3806(2012)05—0645—04
液晶光栅相控阵偏转波前测量方法研究
郑春艳1，杨若夫1，刘 艺2，吴 健H
(1．电子科技大学光电信息学院，成都610054；2．电子科技大学物理电子学院，成都610054)
摘要：为了测试相控阵激光雷达的关键器件液晶光栅相控阵的偏转光束波前，以监控和评价雷达扫描光束的质量，
采用带有光束变向功能的径向剪切干涉测量方法，进行了理论分析和实验验证，取得了口径为lOmm×lOmm的偏转波
前测试系统与商用WYKO干涉仪的比对测试数据。两种仪器对同一块平面样板测出的波前之差的峰谷值小于A／20，均
方根值小于a／200，还取得了实测液晶光栅相控阵不同偏转光束的波前数据。结果表明，该方法可以对液晶光栅相控阵
的偏转波前进行高精度测试。
关键词：测量与计量；偏转波前测量；径向剪切干涉；液晶光栅；光学相控阵
中图分类号：TN247 文献标识码：A doi：10．3969／j．issn．1001—3806．2012．05．018
wavefrontmeasurementof
aboutdeflection
Study approach
liquid-crystalgratingphasedarray
ZHENG Yi2，形UJianl
Chun．yanl，YANGRuo-ful，LIU
ElectronicScienceand of
of of 610054，China；2
(1．School Information，University TechnologyChina，Chengdu
Optoelectronic
of ofElectronicScienceand of
School TechnologyChina，Chengdu610054，China)
PhysicalElectronics。University
ordertotestdeflectionwavefrontof in laser
Abstract：In gratingphasedarray，akeycomponentphasedarray
liquid—crystal
v
monitorandevaluatethe of
radar，and quality
deflectionwavefronttesterandacommercialWYKOinterferometer
10mm×lOmm
aperture
for value than forrootmean
diffe
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