我国低温等离子体研究进展-物理.PDF

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2017-10-15 发布于天津
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我国低温等离子体研究进展-物理

低温等离子体及其应用专题 ! 我国低温等离子体研究进展（） ! 江- 南. （中国科学院物理研究所- 北京- /00010 ）摘- 要- - 低温等离子体物理与技术的研究在国内受到了越来越多的重视在等离子体中发现的一些有趣的物理现象，如磁场重联、尘埃等离子体等，使人们对等离子体物理的研究掀起了新的热潮在应用方面，几乎所有理工类实验室都有涉及低温等离子体技术的实验装置，这使得在我国低温等离子体应用方面的研究非常普及，包括微电子工业中的等离子体工艺，各种坚硬、耐腐蚀、耐摩擦材料的制备，纳米材料的制备，聚合物以及生物材料的表面改性，等等随着低温等离子体技术的发展，低温等离子体的诊断技术也随之发展起来文章简要地介绍了近几年来低温等离子体研究在我国的发展，介绍了一些有关低温等离子体的热点研究课题关键词- - 低温等离子体，低温等离子体物理，低温等离子体诊断，低温等离子体应用 !# $%’%()$*(% ’+),) (%,%)(-. /0 1./0)（） ! 23456 5*,. （!#$%$$’ () *+,#%-# ，.+%’#’ /-01’2, () 3-%’-’# ，4’%5 %67 /00010 ，.+%0 ） 23,$()-$4 4 78% 9:#9;*’;9 #(*:* #!=)+ *, 9+!,8(8?= #(*= *, ),+;9*),?(= ):#8;*, ;8(9 ), +)9,)@)+ ;99*;+! ), A!),* B9+9,(= 8C9;D9 ,9% #!9,8:9,*’+! * :*?,9)+ ;9+8,,9+)8, *, ’= #(*:* !*D9 *E ;8’9 ,9% ),9;9 ), #(*:* #!=)+ 3, #;*+)+9 ，*(:8 9D9;= #!=)+ 8; 9+!,8(8?= (*C8;*8;= !* 8:9 9E D)+9 8; ),;’:9, ),D8(D9 %)! 8; ’),? (8% 9:#9;*’;9 #(*:* ，%!)+! !* (9 8 %)9#;9* *##()9 (8% 9:#9;*’;9 #(*:* ;99*;+! ), 8’; +8’,;= ，),+(’),? #(*:* #;8+9),? ), !9 :)+;89(9+;8,)+ ),’;= ，!9 #;9#*;*)8, 8@ !*; 8;F *, *,)E+8;;8)8, 8;F *, %9*;E;9) :*9;)*( ，,*,8E:*9;)*( ，’;@*+9 :8)@)+*)8, 8@ #8(=:9; 8; C)8E:*9;)*( ，*, 8 @8;! G)! !9 9D9(8#:9, 8@ (8% 9:#9;*’;9 #(*:* 9+!,8(8?= ，!9 ;9(9E D*, )*?,8)+ 9+!,)H’9 !*D9 *(8 ):#;8D9 I!9 (*9 #;8?;9 ), (8% 9:#9;*’;9 #(*:* ;99*;+! ), A!),* *, !9 *;9* 8@ +!)9@ ),9;9 *;9 ;9D)9%9 5%6#(7,4 4 (8% 9:#9;*’;9 #(*:* ，(8% 9:#9;*’;9 #(*:* #!=)+ ，(8% 9:#9;*’;9 #(*:* )*?,8)+ ， (8%