新型电容式MEMS加速度计数字接口电路设计-北京玛格泰克科技发展.PDF

第１０期 电　　子　　学　　报 Ｖｏｌ．４４　Ｎｏ．１０ ２０１６年１０月 ＡＣＴＡＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ Ｏｃｔ．　２０１６ 新型电容式 ＭＥＭＳ加速度计数字接口电路设计 １，２ １，２ １，２ １ １ 李宗伟 ，丛　宁 ，熊兴肶 ，韩可都 ，杨长春 （１．中国科学院地质与地球物理研究所，北京１０００２９；２．中国科学院大学，北京 １０００４９） 　　摘　要：　ＭＥＭＳ加速度计接口电路主要采用传统ｓｉｇｍａｄｅｌｔａ架构实现，但这种方式中的电路失调电压很容易产 生积分饱和现象．为解决这个问题，本文设计了一种可以用于钻井、石油勘探等微弱信号检测的新型数字电容接口电 路．该设计在电容式ＭＥＭＳ加速度传感器基础上，采用ＦＰＧＡ实现数字三阶环路滤波器，构成５阶ｓｉｇｍａｄｅｌｔａ系统．采 用数字环路滤波器降低了ＡＳＩＣ模拟电路版图设计与芯片测试难度，利于快速优化环路滤波器设计参数，改善系统稳 定性和优化系统噪声性能．前置放大器采用一种相对简单的相关双采样技术，能够有效减小前置放大器的失调电压． 根据ＭＥＭＳ加速度计前置放大器输出信号符合正态分布的特点，设计了带有一定预测功能的８ｂｉｔ瞬时浮点ＡＤＣ，实 现模拟与数字环路滤波器互联．在２００Ｈｚ带宽内，该接口电路系统噪声基底达到５３０９ｎｇ／ｒｔ（Ｈｚ），满足系统噪声设计 要求．前置放大器与ＡＤＣ采用ＸＦＡＢＸＨ０１８混合信号ＣＭＯＳ工艺流片，开环测试表明，前置放大器的灵敏度和噪声分 别为０６９Ｖ／ｐＦ和３２０Ｖ／ｒｔ（Ｈｚ）． μ 关键词：　接口电路；ＭＥＭＳ；ｓｉｇｍａｄｅｌｔａ；ＡＤＣ 中图分类号：　ＴＮ４３２；ＴＰ２１２　　　文献标识码：　Ａ　　　文章编号：　０３７２２１１２（２０１６）１０２５０７０７ 电子学报ＵＲＬ：ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｅｊｏｕｒｎａｌ．ｏｒｇ．ｃｎ　 ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．０３７２２１１２．２０１６．１０．０３２ ＡＮｅｗＴｙｐｅＣａｐａｃｉｔｉｖｅＭＥＭＳＡｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒＤｉｇｉｔａｌＩｎｔｅｒｆａｃｅＣｉｒｃｕｉｔＤｅｓｉｇｎ １，２ １，２ １，２ １ １ ＬＩＺｏｎｇｗｅｉ ，ＣＯＮＧＮｉｎｇ ，ＸＩＯＮＧＸｉｎｇｙｉｎ ，ＨＡＮＫｅｄｕ，ＹＡＮＧＣｈａｎｇｃｈｕｎ （１ＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＧｅｏｌｏｇｙａｎｄＧｅｏｐｈｙｓｉｃｓ，ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００２９，Ｃｈｉｎａ； ２ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００４９，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：　Ｔｈｅｃｉｒｃｕｉｔｏｆｆｓｅｔｏｆｔｅｎｃａｕｓｅｓｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎｓａｔｕｒａｔｉｏｎｉｎｔｈｅｔｒａｄｉｔｉｏｎａｌｓｉｇｍａｄｅｌｔａｉｎｔｅｒｆａｃｅｏｆｃａｐａｃｉｔｉｖｅ ＭＥＭＳａｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒｓ．Ｔｏａｄｄｒｅｓｓｔｈｉｓｐｒｏｂｌｅｍ，ａｎｅｗｔｙｐｅｏｆｃａｐａｃｉｔｉｖｅｄｉｇｉｔａｌｉｎｔｅｒｆａｃｅｃｉｒｃｕｉｔｕｓｅｄｆｏｒｄｏｗｎｈｏｌｅｅｘｐｌｏｒａ ｔｉｏｎａｎｄｏｉｌｄｅｔｅｃｔｉｏｎｉｓｄｅｓｉｇｎｅｄ．ＴｈｉｓｐａｐｅｒｐｒｅｓｅｎｔｓａＭＥＭＳｂａｓｅｄ５ｔｈｏｒｄｅｒｓｉｇｍａｄｅｌｔａｃａｐａｃｉｔｉｖｅａｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒ，ｗｈｅｒｅ ｔｈｅ３ｒｄｏｒｄｅｒｄｉｇｉｔａｌｌｏｏｐｆｉｌｔｅｒｉｓｒｅａｌｉｚｅｄｕｓｉｎｇＦＰＧＡ．Ｔｈ