激光冲击效应下的力学电化学微细刻蚀加工.PDFVIP

第 卷 第 期 光学精密工程 ２０ ６ 　 Ｖｏｌ．２０ Ｎｏ．６ 　 　 　　　　　　　 　　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎ ｉｎｅｅｒｉｎ 年 月 　 ｐ 　 　 　 ｇ ｇ ２０１２ ６ Ｊｕｎ．２０１２ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ ２０１２０６１３１００６ 　 － － － 激光冲击效应下的力学电化学微细刻蚀加工 ＊ ， ， ， 张朝阳 李中洋 王耀民 毛卫平 （ ， ） 江苏大学机械工程学院 江苏镇江 ２１２０１３ ： ， 摘要 在所构建的纳秒脉冲激光电化学加工系统中 利用激光辐照和脉冲电化学刻蚀复合的方法对铝合金进行了加工试 ， 。 ： 验 研究了激光穿过溶液作用于物质时产生的力效应和电化学效应对加工质量的影响 试验结果表明 高能脉冲激光透 ， ， 过电解液辐照在工件表面时 激光在电解液中产生的冲击波力效应和射流冲击力效应会使工件发生弹性变形 从而改变 ， ， 。 ， ， 电极电势 提高电流密度 加速了对工件的刻蚀 激光产生的力效应能够去除加工区的钝化层 使其发生电化学反应 而 ， 。 ， ， ／ 非加工区不发生反应 从而显著增强了电化学的定域蚀除能力 最后 利用力学电化学效应 在浓度为 ０．５ ｍｏｌＬ 的 、 ， 。 ＮａＮＯ 溶液中实现了线宽 １４０ ｍ 左右 深宽比较大的微细刻蚀加工 获得了较好的加工质量和成形精度 ３ μ ： ； ； ； ； 关 键 词 脉冲激光 激光冲击 电化学刻蚀 力学电化学效应 复合加工 　 　 中图分类号： 文献标识码： ： ／ ＴＧ６６５ Ａ ｄｏｉ１０．３７８８ＯＰＥ１３１０ 　　 　　 Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌｅｌｅｃｔｒｏｃｈｅｍｉｃａｌｍｉｃｒｏｅｔｃｈｉｎ －