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倾斜梳齿的mems电容式加速度传感器自我标定特性研究 study of self-calibration of mems capacitive accelerometer with non-parallel combs.pdfVIP

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  • 2017-10-15 发布于上海
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倾斜梳齿的mems电容式加速度传感器自我标定特性研究 study of self-calibration of mems capacitive accelerometer with non-parallel combs.pdf

    倾斜梳齿的mems电容式加速度传感器自我标定特性研究 study of self-calibration of mems capacitive accelerometer with non-parallel combs

    第26卷 第10期 传 感 技 术 学 报 Vol.26　 No.10 2013年10 月 CHINESE JOURNAL OF SENSORS AND ACTUATORS Oct. 2013 Study of Self-Calibration of MEMS CapacitiveAccelerometer withNon-Parallel Combs∗ ∗ DONGLinxi ,LOUJinfeng (TheKey Laboratory of RF Circuits and System of Education,HangzhouDianzi University,Hangzhou310018,China) Abstract:This paper studies the self-calibration of MEMS capacitive accelerom

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