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- 2017-10-15 发布于天津
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硅晶片的液流悬浮超光滑加工机理与实验.PDF
第 卷 第 期 光学 精密工程
１５ ７
Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．７
Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ
年 月 ｐ ｇ ｇ
２００７ ７ Ｊｕｌ．２００７
文章编号 （ ）
１００４９２４Ｘ２００７０７１０８４０６
硅晶片
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