用共焦Fabry-Perot干涉仪探测激光超声信号的研究.PDF

第 12 卷　第 1 期 实　验　力　学 V o l. 12　N o. 1 1997 年 3 月 JOU RNAL O F EXPER IM EN TAL M ECHAN ICS M ar. 1997 用共焦 Fab ry - Pero t 干涉仪探测 激光超声信号的研究 何存富　周辛庚 (清华大学, 北京, 100084) 摘要　本文给出一种非接触式接收激光超声信号的方法, 利用自行研制的实验系 统, 探测到用 PZT 换能器和脉冲激光产生的超声信号, 其信噪比足以满足进一步的电 子学信号处理要求。这是将该技术应用于ND T 中的基础。 关键词　 - 干涉仪, 激光超声, 无损检测。 F P 1　引言 　　激光超声技术是无损检测领域的一种新技术, 其原理是用激光脉冲轰击试件表面, 在 [ 1 ] 试件内部产生超声波。当激光的功率密度不同时, 产生超声波的机理也不相同 。这种技术最 ( 显著的特点是可进行远距离非接触式检测。特别适用于环境恶劣 如高温、高压、有毒或放 ) ( ) 射性 及工件形状和尺寸特殊 如小尺寸, 大曲率 等情形下的检测。在航空航天、计量及 力学特性测试等领域有着广泛的应用前景。由于利用脉冲激光激励的超声波位移信号很小 ( ) 约为nm 级 , 因此, 接收激光超声信号的方法就至关重要。用于非接触式探测固体表面激光 超声信号的方法有: EM A T , 电容换能器, 空气换能器及零差法和外差法等光学方法。但是, 在前三种方法中, 要求探头与构件间的距离不能太大, 在一些恶劣环境下无法使用。而后两 种光学方法是对试件的表面位移敏感, 对试件的表面光洁度及环境振动要求很高, 一般的工 业现场很难满足这些要求。另外, 这些光学方法只有接收一个散射光斑时, 才能有最佳灵敏 度, 即使同时接收多个散斑, 因它们是不相关的, 信噪比也不会提高。而球面共焦Fab ry- Per ( ) o t 干涉仪 以下简称CFP I 是一种速度型干涉仪, 它对周围环境振动较不敏感, 且可同时接 收多个散射光斑, 有很强的聚光能力, 适用于对光学粗糙表面的检测。本文利用自行研制的 CFP I 非接触式激光超声检测系统, 检测到用PZT 换能器和脉冲激光产生的超声信号, 实现了 nm 量级声脉冲的非接触式接收, 为将该系统应用于ND T 中打下了基础。 国家自然科学基金资助项目 　本文于 1995 年 11 月 20 日收到第1 稿, 1996 年 7 月 10 日收到修改稿 © 1995-2004 Tsinghua Tongfang Optical Disc Co., Ltd. All rights reserved. ( ) 　　　　　　　　　　　　　　　　　　实　验　力　学