基于Al2O3封装薄膜的OLED水汽透过率测试方法及系统-发光学报.PDF

第３７卷　第１期 发　光　学　报 Ｖｏｌ３７ Ｎｏ１ ２０１６年１月 ＣＨＩＮＥＳＥＪＯＵＲＮＡＬＯＦＬＵＭＩＮＥＳＣＥＮＣＥ Ｊａｎ．，２０１６ 文章编号∶１０００７０３２（２０１６）０１００８８０６ 基于ＡｌＯ 封装薄膜的ＯＬＥＤ ２ ３ 水汽透过率测试方法及系统研究 １，２ １，２ ２ ２ １，２ 段　玮 ，李　晟 ，张　浩 ，张志林 ，张建华 （１．上海大学 机电工程与自动化学院，上海　２０００７２； ２．上海大学 新型显示技术及应用集成教育部重点实验室，上海　２０００７２） 摘要：水汽透过率（ＷＶＴＲ）是衡量有机电致发光器件（ＯＬＥＤ）封装薄膜性能的重要参数之一。本文研究了 基于钙电学法的ＷＶＴＲ测试方法，设计并研制了可满足ＯＬＥＤ水汽透过率测试精度和功能要求的测试系统， －６ －２ －１ －２ －１ 测试精度达１×１０ ｇ·ｍ ·ｄ ，量程为１０ｇ·ｍ ·ｄ ，可同时完成２０个样品的快速、精确测量。利用本 系统对采用原子层沉积技术制备的不同厚度ＡｌＯ 封装薄膜的ＷＶＴＲ进行了测试研究，结果表明，ＡｌＯ 薄 ２ ３ ２ ３ 膜具有良好的水汽阻挡性能。 关　键　词：有机电致发光器件；水汽透过率；钙电学测量法；多通道测试系统；薄膜封装 ＋ 中图分类号：ＴＰ２７４；ＴＮ３８３．１　　　文献标识码：Ａ　　　ＤＯＩ：１０．３７８８／ｆｇｘ００８８ ＴｅｓｔＭｅｔｈｏｄａｎｄＳｙｓｔｅｍｏｆＷａｔｅｒＶａｐｏｒＴｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ ＲａｔｅＢａｓｅｄｏｎＡｌＯ ＥｎｃａｐｓｕｌａｔｅｄＴｈｉｎｆｉｌｍｆｏｒＯＬＥＤｓ ２ ３ １，２ １，２ ２ ２ １，２ ＤＵＡＮＷｅｉ ，ＬＩＳｈｅｎｇ ，ＺＨＡＮＧＨａｏ，ＺＨＡＮＧＺｈｉｌｉｎ，ＺＨＡＮＧＪｉａｎｈｕａ （１．ＳｃｈｏｏｌｏｆＭｅｃｈａｔｒｏｎｉｃｓａｎｄＡｕｔｏｍａｔｉｏｎ，ＳｈａｎｇｈａｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｓｈａｎｇｈａｉ２０００７２，Ｃｈｉｎａ； ２．ＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｉｅｓｏｆＡｄｖａｎｃｅｄＤｉｓｐｌａｙａｎｄＳｙｓｔｅｍＡｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ（ＳｈａｎｇｈａｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ），ＭｉｎｉｓｔｒｙｏｆＥｄｕｃａｔｉｏｎ，Ｓｈａｎｇｈａｉ２０００７２，Ｃｈｉｎａ） ＣｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇＡｕｔｈｏｒ，Ｅｍａｉｌ：ｊｈｚｈａｎｇ＠ｏａ．ｓｈｕ．ｅｄｕ．ｃｎ Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｆｏｒｅｎｃａｐｓｕｌａｔｅｄｔｈｉｎｆｉｌｍｏｆｔｈｅｏｒｇａｎｉｃｌｉｇｈｔｅｍｉｔｔｉｎｇｄｅｖｉｃｅｓａｎｄｆｌｅｘｉｂｌｅｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｄｅ ｖｉｃｅｓ，ｗａｔｅｒｖａｐｏｒｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎｒａｔｅ（ＷＶＴＲ）ｉｓｏｎｅｏｆｔｈｅｍｏｓｔｉｍｐｏｒｔａｎｔｐａｒａｍｅｔｅｒｓｔｏｅｖａｌｕａｔｅ ｔｈｅｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｏｆｔｈｉｎｆｉｌｍ．Ｉｎｔｈｉｓｐａｐｅｒ，ｔｈｅｍｅｔｈｏｄｏｆｃａｌｃｉｕｍｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｔｅｓｔｗａｓｓｔｕｄｉｅｄ．Ｂａｓｅｄ ｏｎｔｈｉｓｍｅｔｈｏｄ，ａｎｅｗｔｙｐｅｏｆｗａｔｅｒｖａｐｏｒｔｒａｎｓ