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一、光栅传感器的结构 二、莫尔条纹形成原理及特点 三、光栅传感器的应用 第10章 光 栅 传 感 器 光栅是由许多具有等节距刻线分布的透光缝隙和不透光的刻线均匀相间排列构成的光学元件。 光栅式传感器有如下特点： 1. 精度高。 2. 大量程测量兼有高分辨力。 3. 可实现动态测量。 4. 具有较强的抗干扰能力。 按其原理和用途，它又可分为物理光栅和计量光栅。 1）物理光栅利用光的衍射现象，主要用于光谱分析和光波长等量的测量。 2）计量光栅主要利用莫尔现象，测量位移、速度、加速度、振动等物理量。 本章主要介绍计量光栅的原理与应用。 一、光栅传感器的结构 光栅传感器由光源、透镜、光栅副（主光栅和指示光栅）和光电接收元件组成。 光栅传感器光源： 钨丝灯泡： 输出功率较大，工作范围较宽（-40℃到+130℃） 与光电元件相组合的转换效率低。在机械振动和冲击条件下工作时，使用寿命将降低。 半导体发光器件: 转换效率高，响应特征快速。 如砷化镓发光二极管，与硅光敏三极管相结合，转换效率最高可达30%左右。砷化镓发光二极管的脉冲响