精品9-第9讲--薄膜材料物理--第四章薄膜的表面和界面+.pptVIP

对于以n型半导体为基的MIS结构，金属电极接负极，当负电压大到阙值时，出现强反型层如图： Ｐ型半导体 介质 金属 0 g V 不可动 n型半导体 介质 金属 　　可见，两个电极间的电导可用栅压来控制，这就是薄膜场效应管的基本工作原理． 应用　 薄膜场效应管 栅极 源极 漏极 欧姆接触 欧姆接触 半导体 第9讲 第四章 薄膜的表面和界面 第四章 薄膜的表面和界面 第9讲 在研究薄膜中，表面：固体和气体或真空的分界面 界面: 固体和固体的分界面 几何表面：表面的几何分界面。 物理表面：一个电子结构不同于内部的表面区域 由于具体的材料不同，表面区的厚度有很大的差异 薄膜的常用厚度为几十到几百nm. 金属的表面区只有一.二个原子层； 半导体的表面区，却有几个，甚至几千个原子层； 电介质的表面区更厚。 §4.1 表面双电层的表面势 (1)金属表面的双电层和表面势 晶体中原子排列的三维周期性在表面处突然中断， 表面层中的原子可能发生 重新排列→能量↓（表面能） 金属中自由电子密度很高→屏蔽→金属表面处的电势 分布近于一个单原子层如图。 （∵电子的逸出功下降） 钨表面吸附氧原子，表面电势升高 钨表面吸附铯原子，表面电势降低——光电阴极材料