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2017-10-25 发布于北京
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基于显微图像处理的MEMS运动测量方法.pdf

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第lO卷第1期纳米技术与精密工程 V01．10No．1 201 Precision 2012 2年1月 №notechnolo影柚dEn酉n神ring J明．基于显微图像处理的MEMS运动测量方法赵新，郭春艳，张玮光，孙明竹，卢桂章 (南开大学机器人与信息自动化研究所，天津300071) 摘要：为实现对MEMS的高精度运动测量，采用了基于显微图像处理的运动测量方法．在该方法中，针对特定的 MEMS器件，首先将其放置在显微镜下摄取其可动部位的运动录像，由运动录像获取显微图像序列；然后针对 MEMs自身结构的特点，设计有效的显微图像处理方法提取其运动位移，由位移最终获取MEMS器件的运动轨迹．基于上述方法，以微加速度计为例，根据其结构和运动特点，提出一种具有亚像素级精度的像素平移法提取其运动位移，将稳态位移的检测结果与理论值对比，得到检测结果为理论值的90．2l％．检测结果与理论值良好的一致性。初步验证了方法的有效性．关键词：MEMS；亚像素；运动测量中图分类号：．I’N407 文献标志码：A 文章编号：1672—6030(2012)Ol舢l彤 MotionMeasurementMethodofMEMSBasedon Micro-ImageProcessing ZHAO Xin，GUOChun—y锄，ZHANGWei—guang，SUNMing—zhu，LUGui—zhang ofRobotics锄dAuto眦ticI晌咖ation (IIlstitute System8，N粕kaiUniversity，Ti肌jin30007l，China) achieve ofMEMSmotion motionmeasurementmethodbased Abstract：Tohigll measurement，a precision on was this acertainMEMS vid— image adopted．Inmethod，for device，the microscopicprocessing sports eoofitsmobile was6rstrecorded a anda couldbe parts byusingmicroscope，micm—imagesequence of f南mthis tot王lefeaturesits designstructure，a c印tured video．Then，according micm—imageprocess- toextractits whichitsmotioncurve be obtained． rrlethodwas could ing designed displacement，by finaJly