先进湿式洗涤塔处理技术-桃园大学校院产业环保技术服务团.PDF

桃園市大學校院產業環保技術服務團 先進濕式洗滌塔處理技術 - 常見的氮氧化物(NOx)控制技術說明 麒翰科技工程有限公司總經理高金磊 CHIHAN Technology and Engineering Co., Ltd. 2015.07.06 簡報內容 ■ 前言 ■ 技術背景 ■ 氣膠微粒粒徑分析 ■ 氮氧化物(NOx)煙霧形成的原因 ■ 常見的氮氧化物(NOx)控制技術說明 ■ 如何選擇適當的氮氧化物(NOx)控制技術？(現場說明) ■ Q A 討論 前言 酸性、鹼性及有機氣體煙霧是許多工業生產 ，包括半導體及光電 產業製程中所無法避免產生的副產物 ，由於煙霧及微粒的粒徑極 小 ，使其得以通過人體的上呼吸道造成肺部的病變；所以 ，今年 (2012 年) 五月十四日環保署修正空氣品質標準 ，將細懸浮微粒 (PM2.5)納入管制 ，細懸浮微粒係指懸浮在空氣中 ，氣動粒徑小 於等於2.5微米的粒子(PM2.5) ，其粒徑極小 ，易隨呼吸進入人體 ， 對健康造成影響。因此 ，如何控制煙霧及次微米微粒的排放是目 前空氣污染防治技術的重要方向之一。 技術背景 在高科技產業及工業生產製程排氣中 ，製程尾氣經常含有酸性 ， 鹼性及有機氣體煙霧及高濃度的次微米微粒 ，這些氣體煙霧及粒 狀物質包括製程的直接副產物或特殊製程尾氣處理後衍生之間接 副產物 ，依據實廠監測的資料 ，上述反應產生的氣體煙霧及微粒 粒徑大部分集中在3μm以下的近次微米範圍 ，在一般的空氣污染 防制設備對此粒徑範圍之氣體煙霧及微粒的控制效率普遍不足的 狀況下 ，廠內的排氣煙囪經常會有顏色的氣體煙霧。另一方面 ， 幾乎所有工業燃燒程序均無可避免地會排出酸性煙霧及次微米微 粒 ，由於這些細小的粒狀污染物可通過上呼吸道深入人體 ，對人 體健康具有不可忽視的威脅性 ，因此先進國家正積極發展控制環 境中酸性 ，鹼性及有機氣體煙霧及次微米微粒濃度的技術與策略。 氣膠的微粒粒徑分析 Aerosol(氣膠) Diameter (μmΦ) Clouds and fog(雲霧) ＜2 Hydrochloric acid mist(鹽酸液滴) 1-3 Sulphuric acid mist(硫酸液滴) 0.3-2 Ammonium chloride fume(氯化銨) 0.05- 1 Tobacco smoke(香菸煙霧) 0.01- 1 Acetic acid( 醋酸) 0.1-200 氮氧化物(NOx)煙霧形成的原因 ■ 高溫燃燒過程中(發電廠, 燃燒爐etc.), 所產生空氣中氮或 燃料中氮化物氧化而成: (以NO成分居多) N2 + 3{O} ⇢ NO + NO2 R-N + {O} ⇢ NO + NO2 + R…….. 圖片來源網站中摘錄 氮氧化物(NOx)煙霧形成的原因(續) ■中低溫鍋爐(蒸氣)廢氣排放之氮氧化物及硫氧化物 圖片來源網站中摘錄 氮氧化物(NOx)煙霧形成的原因(續) ■ 濃硝酸與銅金屬反應所產生的氮氧化物(NOx) Cu + 4HNO ⇢ Cu2+ + 2NO - + 2NO + 2H O 3 3 2 2 銅是一個反應性極低的金屬, (活性排名倒數第五 ，最後五 名為銅汞銀鉑金)所以一般的酸和銅不產生反應。能與銅 產生反應的只有硝酸和濃硫酸。 硝酸之所以能和銅起反應的原因,