奈米碳管复材制程及性能量测-科技部工程科技推展中心.PDF

行 奈奈奈 奈奈 量 類 行 年年 行 立 福 呂 參理 理 逸劉李 論 理 年 行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告 題目 :一維奈米碳管/線合成，奈米複合結構及可調式 CMOS 奈米管振 盪器研製 -子計劃一:一維奈米線合成，奈米碳管複材製程及性能量測 計畫編號 : NSC95-2218-E-002-011 執行期限 : 95年8月1日~96年10月31日 主 持 人:周賢福 教授 e-mail: sfchou727@ntu.edu.tw 中文摘要 奈米碳管具有優異且特殊的物性、化性和材料特性，展現許多應用潛力。 目前奈米碳管的製程，還有許多研發空間以及改變碳管性質的參數討論，因此本 研究以觸媒氣相沉積法 (CVD)所製成的定向多層奈米碳管 (aligned multi-wall carbon nanotube)作為研究主題，討論觸媒薄膜厚度與奈米碳管管徑的關係，量測 管徑對於彈性係數與硬度的影響。 關鍵字 觸媒氣相沉積法: (Chemical Vapor Deposition ) 、定向多層奈米碳管(aligned multi-wall carbon nanotube) 、彈性係數與硬度。 Abstract As carbon nanotube has superb and unique physical and chemical properties, its potential in various applications is bountiful. Currently, the manufacturing processes and the parameters involved in changing the properties of carbon nanotube are still attracting researchers to devote to. Thus, the aligned multi-wall carbon nanotube made by catalyzed vapor deposition method has been picked as the topics of current study. The relationship between the thickness of the catalytic film thickness and the diameter of the carbon nanotube has been investigated. Measurements have been performed in order to determine the effects of tube diameter on the modulus of elasticity and the hardness of the carbon nanotube. keywords: chemical vapor deposition, aligned multi-wall carbon nanotube, modulus of elasticity and hardness of carbon nanotube. 一、前言 最早的多層奈米碳管MWNT(Mult