机床滚转角测量中敏感元件倾斜引起的误差分析.pdfVIP

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2017-10-25 发布于北京
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机床滚转角测量中敏感元件倾斜引起的误差分析.pdf

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机床滚转角测量中敏感元件倾斜引起的误差分析.pdf

第47卷第5期西安交通大学学报 V01．47NO．5 2013年5月 OF UNIVERSITYMav2013 JOURNALXI’AN儿AOTONG DOI：10．7652／Xjtuxb201305018 机床滚转角测量中敏感元件倾斜引起的误差分析钟丽红1，王昭1，汤善治1，高建民2，郭俊杰3 (1．西安交通大学机械工程学院，710049，西安；2．西安交通大学机械系统工程国家重点实验室，710049，西安； 3．陕西智能恒通机械有限公司，710049，西安) 摘要：为研究正交偏振光相位法测量机床滚转角过程中，机床的俯仰、偏摆运动误差对测量精度的影响，建立了测量光路数学模型，利用琼斯矩阵法计算光路中光的偏振态变换过程，并推导出被测滚转角与相位变化量间的测量公式。在此基础上，采用光的偏振和晶体光学理论，分析了测量过程中机床俯仰、偏摆运动误差造成的敏感元件(即1／2波片)倾斜所引起的测量误差。分析结果表明， 1／2波片在倾斜角度小于2。的情况下所引起的测量误差小于0．1％，对测量精度影响较小，从而论证了正交偏振光相位法高精度测量机床滚转角的可行性。关键词：滚转角；1／2波片；运动误差；测量误差中图分类号：TH741．2文献标志码：A 文章编号：0253—987X(2013)05—0099—05 MeasurementError forMachineToolRollErrorMeasurement Analysis DuetoInclinedHalfWavePlate ZHONG Zha01，TANGShanzhil，GAO Lihon91，WANG Jianmin2，GUOJunjie3 for (1．SchoolofMechanical JiaotongUniversity。Xi’an710049，China；2．StateKeyLaboratory Engineering，Xi’an 710049，China； ManufacturingSystemsEngineering，Xi’anJiaotongUniversity，Xi’an 3．Shaanxi MachinesCo．，Ltd．，Xi’an710049，China) HengtongIntelligent evaluatetheinfluenceofmotionerrorofmachinetool，suchas and Abstract：To pitch yaw，on mathematicalmodelwas theconversion therollerrormeasurement，a established，then process methodand themeasurementwascalculated matrix ofthelasers Jones through system by betweenth