现代传感器发展方向-工业物联网.PDFVIP

第 23 卷 　第 1 期 电子测量与仪器学报 Vol23 　N o 1 　2009 年 1 月 J O UR N A L O F EL E C TR ON I C M EA S UR EM E N T A N D I N S TR UM E N T ·　　　　1 · 现代传感器发展方向 孙圣和 ( 哈尔滨工业大学自动化测试与控制系 , 哈尔滨 15000 1) 摘 　要 :传感器是信息系统的源头 ,在某种程度上是决定系统特性和性能指标的关键部件 。本文试图探讨现代传感器技 术发展方向,从概念 、原理 、性能和应用等层面评述了9 种传感器 :光纤传感器 、集成传感器 、M EM S 传感器 、模糊传感器 、智能 传感器 、多功能传感器 、模型传感器 、网络传感器及生物传感器 ,且每类传感器列举了应用实例 。 关键词 :集成传感器 ; M EM S 传感器 ;