相移器平移误差与倾斜误差不敏感相移新算法-光学精密工程.PDFVIP

82 Vol. 8, No. 2 2 0 0 0 4 OPTICS AND PRECISION ENGINEERING Apr . , 2000 1004-924 ( 2000) 02-0185-04 X 郭红卫, 陈明仪 ( 上海大学精密机械工程系, 上海 嘉定　201800) : , , , , , : 相移干涉术; 相移误差; 最小二乘解; 迭代法 : O436. 1:A , , 1　引　　言 , , [ 1] , PZT , ; , 2　基本原理 , , 2. 1