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GaN衬底的腐蚀程度对ZnO纳米棒阵列光学性能的调控-发光学报
第３８卷 第１０期 发 光 学 报 Ｖｏｌ３８ Ｎｏ１０
２０１７年１０月 ＣＨＩＮＥＳＥＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦ ＬＵＭＩＮＥＳＣＥＮＣＥ Ｏｃｔ. ꎬ２０１７
文章编号:１０００￣７０３２(２０１７)１０￣１３０７￣０７
ＧａＮ衬底的腐蚀程度对 ＺｎＯ纳米棒阵列光学性能的调控
１ꎬ２ １ꎬ２ １ꎬ２ １ꎬ２ １ꎬ２ １ꎬ２ ∗
庞泽鹏 ꎬ梅伏洪 ꎬ乔建东 ꎬ 尚 林 ꎬ余春燕 ꎬ许并社
(１. 太原理工大学 新材料界面科学与工程教育部重点实验室ꎬ山西 太原 ０３００２４ꎻ
２. 太原理工大学 新材料工程技术研究中心ꎬ山西 太原 ０３００２４)
摘要:研究了在湿法腐蚀ＧａＮ衬底上生长的ＺｎＯ纳米棒阵列的微结构和光学性能ꎮ 相比于未经腐蚀及腐
蚀５ ｍｉｎ、１０ ｍｉｎ 的ＧａＮ上生长的ＺｎＯ纳米棒阵列ꎬ在腐蚀８ｍｉｎ 的ＧａＮ上生长的ＺｎＯ纳米棒阵列最细密ꎬ光
学性能最好ꎬ其相应ＰＬ光谱峰强积分比Ｉ / Ｉ 最大(７０.９２)ꎮ 因为此时ＧａＮ衬底中的位错基本全部在表面
ＵＶ ｖｉｓ
露头ꎬＺｎＯ容易附着而形成更多的形核种子ꎬ并且衬底的位错在表面的边缘有助于诱导ＺｎＯ 晶体的外延生
长ꎬ所以ＺｎＯ棒更加细密ꎬ晶体质量更高ꎬ从而光学性能更好ꎮ
关 键 词:ＺｎＯ纳米棒ꎻ水热法ꎻＧａＮ衬底ꎻ湿法腐蚀ꎻ光学性能
中图分类号:Ｏ４７２.１ꎻＴＮ３６４ 文献标识码:Ａ ＤＯＩ:１０.３７８８/ ｆｇｘ１３０７
Ｒｅｇｕｌａｔｉｏｎ ｏｆ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ
ＺｎＯ Ｎａｎｏｒｏｄｓ Ａｒｒａｙｓ ｂｙ Ｔｈｅ Ｃｒｏｓｓｉｏｎ ｏｆ ＧａＮ Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ
１ꎬ２ １ꎬ２ １ꎬ２ １ꎬ２ １ꎬ２ １ꎬ２∗
ＰＡＮＧＺｅ￣ｐｅｎｇ ꎬＭＥＩ Ｆｕ￣ｈｏｎｇ ꎬＱＩＡＯＪｉａｎ￣ｄｏｎｇ ꎬＳＨＡＮＧ Ｌｉｎ ꎬＹＵ Ｃｈｕｎ￣ｙａｎ ꎬＸＵ Ｂｉｎｇ￣ｓｈｅ
(１. Ｋｅｙ Ｌａｂｏｒａｔｏｒｙ ｏｆ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ ｉｎＡｄｖａｎｃｅｄＭａｔｅｒｉａｌｓꎬＭｉｎｉｓｔｒｙ ｏｆ Ｅｄｕｃａｔｉｏｎꎬ
Ｔａｉｙｕａｎ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ｏｆ ＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙꎬＴａｉｙｕａｎ０３００２４ꎬＣｈｉｎａꎻ
２. Ｃｏｌｌｅｇｅ ｏｆ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ ＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙꎬＴａｉｙｕａｎ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ｏｆ ＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙꎬＴａｉｙｕａｎ０３００２４ꎬＣｈｉｎａ)
∗Ｃｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇ ＡｕｔｈｏｒꎬＥ￣ｍａｉｌ:ｘｕｂｓ＠ｔｙｕｔ.ｅｄｕ.ｃｎ
Ａｂｓｔｒａｃｔ:１￣ＤＺｎＯｎａｎｏｒｏｄｓａｒｒａｙｓｗｅｒｅｆａｂｒｉｃａｔｅｄｏｎｔｈｅｗｅｔｅｔｃｈｅｄＧａＮｓｕｂｓｔｒａｔｅｓａｎｄｔｈｅｍｉｃｒｏ￣
ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ａｎｄ ｏｐｔｉｃａｌ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｗｅｒｅ ｓｔｕｄｉｅｄ. Ｃｏｍｐａｒｅｄ ｗｉｔｈ ＺｎＯ ｎａｎｏｒｏｄｓ ｇｒｏｗｎ ｏｎ ＧａＮ ｗｉｔｈ ｎｏ
ｃｏｒｒｏｓｉｏｎ ａｎｄ ｃｏｒｒｏｓｉｏｎ ｆｏｒ５ ｍｉｎ ａｎｄ １０ ｍｉｎꎬｔｈｅ ｎａｎｏｒｏｄ ａｒｒａｙｓｗｉｔｈ
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