具备带电防止效果机能之氟树脂接管(Tube).pptVIP

具备带电防止效果机能之氟树脂接管(Tube).ppt

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具备带电防止效果机能之氟树脂接管(Tube).ppt

* TOHFLON  氟樹脂配管部件介紹 (1) 配管(Tube)            NewPFA Tube(φ1/8”~φ2”) (2) 防止帶電?加熱機能接管     Tohflon Panda Tube (3) 非金屬大口徑配管接頭      Flarerib Joint(φ1”~φ2”) (4) 高純度薬液?CMP Thriller配管閥 Pinch Valve(Prototype開發中) (1)NewPFA Tube(φ1/8”~φ2”) 特徵 ◎乾淨的生產環境 →隔離壓製室及收納?包裝室,以保持乾淨無菌的 作業環境各式各樣長度的接管樣式 →標準:3/5/10/20/30/50/100/150(m) →其餘任何長尺規格亦皆有對應 ◎低溶出金屬 →導入螺旋圓柱的模具,能有效抑制金屬離子溶出 的情形。 ◎NewPFA接管金屬溶出資料 在無菌室裡準備單邊末端密封的NewPFA接管,用超純水清洗十分鐘之後,在接管內加入33g的0.1N硝酸,放置七天,然後用精工(SEIKO)電子製的SPQ9000型ICP-MS測定。 ◎收納?包裝室:Clean class:1000以下 ◎壓製室:Clean class:1000以下 ●將壓製室及收納?包裝室隔絕 ●長尺梱包品 ND表示低於檢出界限。 FLARERIB JOINT 量環 (PE) 外環  (NewPFA) 本體 (NewPFA or PTFE) 連接螺帽(NewPFA) 接管 (NewPFA) ●接管尺寸   Tube size ●FLARERIB JOINT NewPFA TUBE ●接管加熱加工機   Hot flaring tools <FLARERIB JOINT的3大特徴> ○對應大容量配管 有1吋、1(1/2)吋、2吋不同的配管用大型配管接頭,能對應300 mm半導体製造系統、液晶製造系統、化學物製造等大容量的藥液供給。 ○實現無金屬配管 將管線的厚度規格化,作為高純度藥液的配管。藉由使用FLARERIB JOINT,不含金屬原料的氟樹脂製配管可以適用於各種藥液供給量。 ○大幅減輕施工及維護的作業 藉著本社獨特的產品構造,加固螺帽的作業可以大幅減少,也能增加作業的便利性。 *幾乎不需再加強連接螺帽的固定 *構造簡單,方便緊固螺帽 *配管體積小重量輕 * 耐冷熱溫差 *防止連接螺帽和接管同時迴轉 *接管耐彎且不易變形 *液體換置方便迅速 FLARERIB JOINT置換特性評估 〇停留於接頭/接管間的微粒子 細微觀察(×1000) 【 他社継手?チューブ配管 】 【 当社継手?チューブ配管 】 30mm 40mm 30mm 30mm 30mm 配管樣本 微粒樣本液:Polystyrene dispersion 洗淨液:超純水(UPW) 實驗環境:無菌室(Class 100) 微粒記數器:LASAIR(PMS社製) 微粒溶出實驗 <實驗方法> (STEP 1)使用PFA管作為接頭。(製作樣品配管) (STEP 2)將500mL的樣本液填充至樣品配管。放置十分鐘後倒出。 (STEP 3)將500mL的UPW(超純水)填充至樣本配管後,搖晃約一分鐘,然後放置三分鐘。 (STEP 4)用UPW沖洗後倒出,計算溶出微粒的數量。 之後,反覆進行(STEP 3)(STEP 4)四次。 清洗次數以及微粒溶出量 (2) TOHFLON PANDA TUBE 具備帶電防止效果機能之氟樹脂接管(Tube) 断面形状 特 徵 用 途 ○帯電防止効果 ○加熱機能 ○耐薬品性?耐熱性 ○接管内部可視性 ○Si Ball搬送用接管 ○Si Ball乾燥過程用接管 ○可燃性抗蝕劑搬送用接管 ○其他。加熱?帯電防止用途等 【 摩擦帯電後の電位比較 】 NewPFA Tube 規格(φ1/8”~φ2”) *

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