三自由度精密定位工作台工作空间分析和优化.pdf

第31卷第5期 兵 工 学 报 V01．31No．5 2OlO年5月 ACTAARMAMENTARIl Mav2010 三自由度精密定位工作台工作空问分析及优化 贾晓辉，张大卫，田延岭 (天津大学机械工程学院。天津300072) 摘要：针对纳米压印光刻技术(NIL)过程中的纳米级空间定位要求，设计了一种采用柔性并联 构型和压电陶瓷驱动的三自由度精密定位工作台。基于伪刚体(PRB)模型理论将柔性铰链等效为 理想转动副和线性扭簧，建立了精密定位平台的PRB模型，并以此分析了该类工作台的逆运动学 特性；根据弹性铰链转角范围所限定的约束条件分析了定位工作台的工作空间。另外，为了达到以 预定的全局条件数为约束条件的最大工作空间体积，对工作台结构参数进行优化，并通过数值仿真 验证其有效性。 关键词：机械学；纳米压印光刻技术；精密定位工作台；工作空间分析；优化设计 中图分类号：TN305 文献标志码：A 文章编号：1000—1093(2010)05旬624旬7 and ofa3-DoF WorkspaceAnalysisOptimization PrecisiOn Table POsitioning JIA Xiao-hui，ZHANGDa—wei，TIANYan-ling (schoolofMechanical Engineering，Tianjinuniversity，Tianjin300072，China) ordertorealize3一dimensional withnanometerleVelin AbStraCt：In positioning nanoimprintlithograph tablewith3DOFnexible was on Based (NIL)，apiezo·driVen paraUelcon69umtiondesigned． p8eudo— theinversekinematicsand models wereestablished rigid-body(PRB)modelingtheory，both velocity by the nexible a8 torsion idealreVoluteand Inyiewofthe single—axishinges joints simplifying sprin98． physi— calconstraints nexible ofthetablewas Andforthe imposedby hinges，theworkspace investigated． pur— toachieVeamaximum tothe