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高纯气体管道检测方案一：测试概要设备主管路主要是通特种气体SiH4,需做测试项目有：耐压测试、保压测试、氦检测试、水分测试、氧分测试、颗粒测试。辅助管路主要是通大宗气体,用于开启气动阀门。需做测试有：用Snoop对SWG、NPT接点进行检漏。二：测试仪器仪器名称仪器型号产地备注氦检仪INFICON UL 1000FAB德国水分仪HALO-H20美国氧分仪DF-550E美国颗粒仪PMS LPC-101-HP美国氦检仪 水分仪氧分仪 颗粒仪三：系统管路连接方式及检测标准连接方式检测标准备注焊接≤1.0X10-9mbar.l/sVCR≤1.0X10-9mbar.l/sSWG≤1.0X10-6mbar.l/s或Snoop检漏NPT≤1.0X10-6mbar.l/s或Snoop检漏四：测试项目及方法1.耐压测试测试目的管道在承受高压后衔接点不会外漏，以确保所有人员的安全。另外管路中的高压可以侦测出焊道上是否有沙孔存在（沙孔会因为过高的压力造成泄露）。测试规则测试时间为0.5H,测试压力依据系统中材料的最大工作压力而定，避免因压力过大导致材料损坏。例如系统中压力表最大量程为400Kpa，则通入压力要小于等于400Kpa。无压降即为通过。如有压降需找出漏点重新测试，直到无压降为止。测试工具压力表测试前准备检查系统流程是否与PID图纸流程一致，核对材料型号、方向、标识是否正确。检查管线材料最大工作压力,避免因测试过程通入压力过高导致阀门损坏。注意事项保证测试范围内所有的阀门（包括调压阀）都处于全开的状态。测试方法将气源用金属管道连接至系统进气端。 慢慢打开隔离阀。每次增加 10 PSIG，缓慢的将系统压力增加到最终测试压力的50% 。观察压力表10 到15 分钟，看系统有无泄漏。如压力表显示系统有泄漏，则减小系统压力并处理漏点。重复上述操作。确认系统无任何泄漏后，慢慢的增加系统压力到测试值，断开气源，观察压力表30 分钟看系统有无泄漏。在系统的压力稳定并显示无任何压降后，在压力测试报告中记录测试开始时的温度、时间和压力值。2.保压测试测试目的确保管路输送系统没有明显的泄漏，以便对管路系统进行氦测漏。测试规则测试时间为24小时，测试压力不能小于设计压力的1.15倍，经温度纠正后的允许压力降为不大于开始压力的1%.压力变化方程式(考虑到温度影响)P2=测试结束压力值 (PSIG)P1=测试开始压力值(PSIG)T2=测试结束温度值 (℃) T1=测试开始温度值(℃)Pta=考虑到温度影响的压力变化值测试工具压力表测试方法将气源用金属管道连接至系统入口端。 慢慢打开隔离阀。每次增加 10 PSIG，缓慢的将系统压力增加到最终测试压力的50% 。观察压力表10 到15 分钟，看系统有无泄漏。如压力表显示系统有泄漏，则减小系统压力并处理漏点。重复上述操作。确认系统无任何泄漏后，慢慢的增加系统压力到测试值，断开气源，记录好温度、时间、压力值，24H后观察压力是否有压降。在系统的压力稳定并显示无任何压降后，在压力测试报告中记录测试开始时的温度、时间和压力值。测试结束后注意事项在测试报告中记录下测试的参数。将系统的压力释放，在进行氦测漏之前用高纯N2对系统进行持续的吹扫0.5H。将压力测试用的管线拆除，用堵头来密封系统并使用新的垫片。如果由温度所引起的压力下降超过了要求，通过关闭测试范围内的系统阀门来开所有的潜在漏点，观察各个不同隔离部分的压降。在将漏点隔离和修复之后，重复上述测试步骤。3．氦检漏测试测试目的利用氦质谱仪感测漏入系统中的微量的氦气来测漏，并根据检测到的氦气的量来确定漏率的大小。 相关名词及解释真空度：处于真空状态下的气体稀薄程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度单位：Torr 、Pa。1托=1/760大气压=1毫米汞柱1托=133.322帕1帕=7.5×10-3托漏率：密闭真空空间在外界标准大气压和单位时间内，物质泄漏的速率。漏率常用单位：Pa.m3/sec、mbar.l/sec、atm.cc/s 10 Pa.m3/sec=1 mbar.l/sec=1 atm.cc/s分子泵：通过高速旋转的叶轮，当气体分子与涡轮叶片相碰撞时就被驱向出气口再由前级泵抽除。测试仪器 氦质谱检漏仪测试前准备 系统成功的的通过了保压检漏。确认系统的所有部件都能承受得住真空状态而不损坏。先对测漏仪本身阀组及连接管路进行漏率检测。测漏仪与系统管路接通前，要将被测系统内的气体释放掉。缓缓打开测漏仪入口处的阀门，将测漏仪与管路系统隔离阀之间的管路抽真空，直至测漏仪显示的背景漏率低于 1× 10-9mbar.l/s。对连接