Si表面上生长的ZnO薄膜的阴极射线荧光.PDF

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2017-11-04 发布于天津
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Si表面上生长的ZnO薄膜的阴极射线荧光

24 2 Vol24 No . 2 2003 4 CHINESE JOURNAL OF LU MINESCENCE Apr. , 2003 : 1000-7032(2003) 02-0171-06 Si 表面上生长的ZnO 薄膜的阴极射线荧光 1, 2 2 2, 3 2 1, 2 1, 2 许小亮 , 徐军, 徐传明 , 杨晓杰 , 郭常新 , 施朝淑 ( 1. , 230026; 2. , 230026; 3. , 230027) : Z O/ Si ( CL) , 800 , , , 390 m 505 m , 800 , 525 m950 , , , CL , X , , Z O/ Si , : 800 ( 600) , Z O , 800 , Z O , , Z O/ Si : Z O; Si ; ; ; + + + : TN3042 1; T N3041 2; O734 3 : A Z O ; ( 4) 1 引言 Z O , Al O GaN 2 3 [ 1] [ 11] 337eV , 60meV, , : ( 1) 26meV , Al O , , 2 3 Z Se( 22meV) , ; ( 2) GaN , Z S(40meV) GaN( 25meV) , Z O GaN, , , Z O , , [2] [ 3] Si , , Z O , a= 0543 m, Z O , , SiO , Z O 2 1996 , Z O [ 12~ 15] SiO2 [4] Z O XRD , Z O , , ( 002) 03, , [5~ 10] , Z O , Z O Si Z , , (002) 02,