XGZU2009型压阻式压力敏感芯片.PDF

XGZU2009 型压阻式压力敏感芯片 产品特点  测量范围 0～20kPa…1000kPa  压阻式裸芯片  绝压或表压形式  优异的稳定性、线性度  低价格、高性价比  恒压、恒流供电可选择 产品用途  TPMS 传感器、MAP 传感器、机油压力测试等汽车电子领域  空压机、家电等民用领域  水泵、消防、潜水、水坝等水压测试  制氧设备、电子血压计、按摩器等医疗电子领域  气象、气压开关、儿童玩具，运动健身等领域 产品概述 XGZU2009 型压阻式压力敏感芯片采用 6 寸 MEMS 产线加工完成，该压力敏感芯片由一个弹性膜及集 成在膜上的四个电阻组成，四个压敏电阻形成了惠斯通电桥结构，当有压力作用在弹性膜上时电桥会产 生一个与所加压力成线性比例关系的电压输出信号。 芯片为硅-玻璃键合结构，芯片尺寸为 2mm ×2mm×0.9mm。 良好的线性、重复性和稳定性，灵敏度高，方便用户采用运放或集成电路针对输出进行调试。 适用于充油隔离及各种简易封装的压力传感器。 基准条件  测量介质： 空气  介质温度：（25±1）℃  环境温度：（25±1）℃ 2  振 动： 0.1g(1m/s )Max  湿 度：（50%±10%）RH  电 源：（5±0.005）V DC 基本参数  电气性能 参数 最小值 典型值. 最大值 单位 备注 恒压供电 5 10 V 恒流供电 1.5 3 mA 桥臂电阻 4 5 6 kΩ 输入、输出阻抗 4 5 6 kΩ 1  温度特性 参数 最小值 典型值. 最大值 单位 备注 工作温度 -40 +125 ℃ 干燥无腐蚀 储存温度 -50 +150 ℃ 环境 电阻温度系数 2400 2800 3200 ppm/°C 零点温度系数 ±20 50 uV/°C 灵敏度温度系数