氮化铬薄膜的径向纳动损伤机制研究-摩擦学学报.pdfVIP

第 28 卷第 4 期 摩 擦 学 学 报 Vol. 28　No. 4 2008 年 7月 Tribo logy Ju ly 2008 氮化铬薄膜的径向纳动损伤机制研究 张 　爽 , 钱林茂 , 莫继良 (西南交通大学 牵引动力国家重点实验室摩擦学研究所 , 四川 成都 　6 10031) μ 摘要 : 采用纳米压痕仪和曲率半径为 20 m 的金刚石球形压头研究了 40Cr基体和 CrNx 薄膜的径向纳动行为 ,并探 讨其损伤机制. 结果表明: CrNx 薄膜能够提高 40Cr基体的抗压性能 ,提高其接触刚度 , 降低残余压痕深度 ,减少在纳 动循环过程中的能量耗散 ;增大载荷或增加循环次数均可加剧材料的纳动损伤 ; 40Cr基体的纳动损伤表现为压痕边 缘的塑性堆积 ;而 CrNx 薄膜的纳动损伤由表面的径向和环向拉应力所引起 ,表现为环向裂纹和径向裂纹的萌生与扩 展. 关键词 : 径向纳动 ; 氮化铬薄膜 ; 纳米摩擦学 中图分类号 : TH 117. 3 文献标志码 : A 文章编号 : (2008) 04 03 1606 　　纳动是指相对往复运动幅值在纳米量级的特殊 射型高真空磁控溅射装置制备 CrNx 薄膜. 日本 ( ) 摩擦运动方式 , 其相关研 究主要集 中于块体材 SP I3800N 型原子力显微镜 A FM 测得薄膜颗粒度 [ 1～2 ] [ 1 ] 料 ,薄膜的纳动研究还少见报道. 我们曾 研究 约为 80 nm ,在 500 nm 的扫描范围内,基体与薄膜 了镍钛合金的切向纳动 ,指出由于纳动为单点接触 , 表面的均方根粗糙度分别为 4. 4 nm 和 2. 0 nm. 采 ( 而微动为多点接触 ,接触模式的不同导致了二者在 用表面轮廓仪 AMB IO S XP2 , Am b io s Techno logy 摩擦力随循环次数的变化 、摩擦系数的大小以及损 Inc, U SA )测得薄膜厚度约为 170 nm , 外观呈银 白 伤模式等方面的差异较大. 张静宜等 [ 2 ] 利用纳米压 色. 试验测得 CrNx 薄膜和 40Cr基体的纳米压痕硬 痕仪 ,采用尖端曲率半径 150 nm 的 B erkovich 压头 度分别为 2 1. 3 GPa 和 4 GPa,弹性模量为 306 GPa 进行单晶硅和单晶铜在高载下的径向纳动运行与损 和 2 11 GPa. ( 伤行为研究 ,发现单晶硅的纳动损伤主要表现为塑 径向纳动试验在纳米压痕仪 CSEM In strum en ts )