电弧离子镀的旋转横向磁场弧源设计.PDFVIP

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  • 2018-08-18 发布于天津
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电弧离子镀的旋转横向磁场弧源设计.PDF

电弧离子镀的旋转横向磁场弧源设计

33 4 2013 4 CHINESE JOURN L OF V CUUM SCIENCE NDTECHNOLOGY 387 1 2 1* 1 1 赵彦辉 郎文昌 肖金泉 宫 骏 孙 超 ( 1. 110016; 2. 325035) Novel Type of Arc Source with Rotating Tra

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