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不同Si3N4相涂层坩埚中全熔多晶硅锭的制备及表征-材料与测试网
年 月 第 卷 第 期
２０１７ ５ ４１ ５ Vol．４１No．５Ma ２０１７
y
: /
DOI １０．１１９７３ xccl２０１７０５０１２
jg
不同 相涂层坩埚中全熔多晶硅锭的制备及表征
SiN
３ ４
,
１ １２ ３ １ １
, , , ,
李永乐 黄金亮 李飞龙 李 谦 李丽华
( , ,
河南科技大学材料科学与工程学院 洛阳 有色金属共性技术河南省协同创新中心
１． ４７１００３２．
( ) , )
洛阳 阿特斯光伏电力 洛阳 有限公司 洛阳
４７１０２３３． ４７１０２３
: ,
以 和 粉为原料 采用免烧结工艺在坩埚内壁上分别制备了 涂
摘 要
αＧSiN ＧSiN αＧSiN
３ ４ ３ ４ ３ ４
β
、 ,
层 涂层以及二者质量比为 的复合涂层 然后在这些涂层坩埚中制备得到了多晶硅铸
ＧSiN １∶１
３ ４
β
, , 、 . :
锭 观察了涂层和硅锭的表面形貌 测试了硅锭的表面粗糙度 晶粒大小以及红区长度 结果表明
、 , ,
涂层表面粗糙不平 起伏不均匀 对应硅锭的表面粗糙度和晶粒尺寸最大 红区最长
αＧSiN Ｇ
３ ４
β
, , ,
涂层表面较平整且起伏均匀 对应硅锭的表面粗糙度最小 晶粒尺寸较小 红区最短 复合涂
SiN
３ ４
, , .
层的表面粗糙度介于上述二者之间 对应硅锭的晶粒尺寸最小 红区长度介于二者之间
:
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