定向凝固提纯对工业硅杂质及电阻率的影响-材料与测试网.PDFVIP

第 卷 第 期 机 械 工 程 材 料 ３５ ３ Ｖｏｌ．３５ Ｎｏ．３ 　 　 　 　 　 　 年 月 ２０１１ ３ Ｍａｒ． ２０１１ 　 Ｍａｔｅｒｉａｌｓ ｆｏｒ ＭｅｃｈａｎｉｃａｌＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　 　 ｇ ｇ 定向凝固提纯对工业硅杂质及电阻率的影响 张慧星，谭 毅，孙世海，许富民，姜大川 （大连理工大学材料科学与工程学院，大连 １１６０２３） 摘 要：以１１０１工业硅为原料，采用真空感应熔炼加定向凝固提纯方法制备了多晶硅铸锭，通 　 过电感耦合等离子体发射光谱仪、扫描电镜、四探针电阻率仪、导电类型测试仪等对其化学成分、组 织、电阻率及导电类型等进行了分析。结果表明：多晶硅锭中约５０％的区域纯度达到９９．９９％，其 中铁、铜、镍等金属杂质去除率均在 ９０％以上；分凝效应使得杂质元素重新分布，导致粗大柱状晶 在铸锭 高度处停止生长，此时其成分及电阻率发生突变，导电类型也由 型转变为 型。 ５４％ Ｐ Ｎ 关键词：定向凝固；多晶硅；分凝效应；电阻率 中图分类号： 文献标志码： 文章编号： （ ） ＴＦ８９ Ａ １０００３７３８２０１１０３００５２０４ 　　　 　　　 犐狀犳犾狌犲狀犮犲狅犳犝狀犻犱犻狉犲犮狋犻狅狀犪犾犛狅犾犻犱犻犳犻犮犪狋犻狅狀犘狌狉犻犳犻犮犪狋犻狅狀狅狀犐犿 狌狉犻狋犪狀犱 狆 狔 犚犲狊犻狊狋犻狏犻狋狅犳犆狅犿犿犲狉犮犻犪犾犛犻犾犻犮狅狀 狔 ， ， ， ， 犣犎犃犖犌犎狌犻狓犻狀 犜犃犖犢犻犛犝犖犛犺犻犺犪犻犡犝犉狌犿犻狀 犑犐犃犖犌犇犪犮犺狌犪狀 犵 （ ， ， ， ） ＳｃｈｏｏｌｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｉｎｅｅｒｉｎ ＤａｌｉａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏ Ｄａｌｉａｎ１１６０２３Ｃｈｉｎａ ｇ ｇ ｙ ｇｙ ： （ ） 犃犫狊狋狉犪犮狋Ｍｕｌｔｉｃｒｓｔａｌｓｉｌｉｃｏｎ ｍｃＳｉｉｎｏｔｗａｓｒｅａｒｅｄｕｓｉｎ １１０１ｃｏｍｍｅｒｃｉａｌｓｉｌｉｃｏｎａｓｒａｗｍａｔｅｒｉａｌｂ ｙ ｇ ｐ ｐ ｇ ｙ