高分辨透射电子显微分析技术.pptVIP

7高分辨电子显微学 主要内容 7.1引言 7.2高分辨电子显微成像原理 7.3高分辨电子显微观察和拍摄图形的程序 7.4高分辨电子显微方法的实践和应用 7.1引言 概念：高分辨电子显微术是运用相位衬度成像的一种直接观测晶体结构和缺陷的技术。 历史：1956年门特用分辨率为0.8nm的透射电子显微镜直接观察到酞箐铜晶体的相位衬度像这是高分辨电子显微学的萌芽；在20世纪70年代，解释高分辨像成像理论和分析技术的研究取得了重要进展；实验技术的进一步完善,以及以J.M.Cowley的多片层计算分析方法为标志的理论进展,宣布了高分辨电子显微学的成熟. 7.2高分辨电子显微成像原理 7.2高分辨电子显微成像原理 图(a)与图(b)的比较: 1)都经过了由试样物面(实空间) →物镜后焦面处获取衍射谱(倒易空间) →像平面处获取图像(实空间). 2)电子束入射到试样是为了获取试样的普遍结构信息,即衍射谱. 3)两种不同衬度像反映的结构细节的层次是和参加成像的衍射束的多少相对应的.每一束衍射束都携带着一定的结构信息,参加成像的衍射束越多,最终成像所包含的试样结构信息越丰富,即层次越高越逼真. 7.2高分辨电子显微成像原理 4)衍射谱的质量,即它能否逼真地充分地携带物样的结构信息,与电子束的性质(能量稳定性和束直径大小)以及物镜的设计质量和性能密切相关. 7.2高分辨电子显微成像原理 入射电子