射频溅射功率对fezrbcu软磁合金薄膜巨磁阻抗效应的影响!-物理学报.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 %( ( % ( ， ， ， VWB 1%( LW 1( 7X-AB % （ ） !?$58%8%( ( 8 !)!?% 7/S7 NTUK/7 UKLK/7 % /YAI 1 NYZD 1 UWH 1 射频溅射功率对!#$%’ 软磁合金薄膜 巨磁阻抗效应的影响! ） ）） ）） ）） ） ） ） ） ! ! # ! ! $ ! ! ! ! 王文静 萧淑琴 刘宜华 陈卫平 代由勇 姜 山 袁慧敏 颜世申 !）（山东大学物理与微电子学院，济南 %! ） ）（山东大学晶体材料国家重点实验室，济南 %! ） $ ）（浙江台州学院物理系，临海 $!’ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ( ! $! ( ) $ 用射频溅射法制备了 软磁合金薄膜 研究了不同溅射功率对 薄膜软磁特性和巨磁阻抗效应 *+,-./0 1 *+,-./0 的影响 用电子探针显微镜测量发现，当溅射功率为 时，薄膜样品中 的原子含量为 ， 的原子含 1 ( 2 *+ )’ 3$ 4 /0 量为 35 4 1 这种样品的矫顽力最小，为6) 789，饱和磁化强度约为!3 !! : !% 789，软磁性能最佳，巨磁阻抗效应最 大，溅态膜在!$ ;= 最大巨磁阻抗比纵向为!’ 4 ，横向为!!4 1 重点分析了阻抗的电阻、电感分量及横向有效磁导 率随频率的变化，得到在低频下主要是磁电感效应，此时磁导率对电感分量的变化起重要作用1 关键词：铁基合金，薄膜，巨磁阻抗效应 ： ， ， () ’%%. ’%’ ’; ［ — ］ 多!$ !6 ，但是对于 *+,-. 细丝、薄膜的研究还鲜有 !3 引 言 报道，而薄膜材料对研究J;K 效应的机理，丰富J;K 效应的理论及对器件的微型化和集成化具有重要意 巨磁阻抗（ ）效应是指软磁材料的阻抗随外 义1 本文研究了溅射功率对 *+,-./0 软磁合金薄膜 J;K 加直流磁场的变化而变化的现象，它具有高灵敏度、 的磁特性、成分及 J;K 效应的影响，目的是探索具 无磁滞、响应快、温度