通用位置厚度与间隙量测方法之研究.pdfVIP

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行政院家科委助研究成果告通用位置厚度隙量方法之研究研快速精的位置敏元件型整合型行期九十六年八月一日至九十七年七月三十一日主持人徐力弘共同主持人傅毓芬人董行位立虎尾科技大光工程系中民九十七年八月三十日行政院家科委研究成果告通用位置厚度隙量方法之研究研快速精的位置敏元件行期限九十六年八月一日至九十七年七月三十一日主持人徐力弘立虎尾科技大光工程系共同主持人傅毓芬行及位名人董立虎尾科技大光所一中文摘要第一年研快速精的位置敏元件位置敏元件的精度速度定於元件的尺寸位置然二元或四元器的精度速度很高但量二由目的

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