FeSi薄膜制备与发光研究的进展-中国光学.PDFVIP

第２卷　第２期 　中国光学与应用光学 Ｖｏｌ．２　Ｎｏ．２ 　 　　 　　　　　 ２００９年４月　 　 　 Ａｐｒ．２００９ ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＯｐｔｉｃｓａｎｄＡｐｐｌｉｅｄＯｐｔｉｃｓ 文章编号　１６７４２９１５（２００９）０２０１１９０７ βＦｅＳｉ薄膜制备与发光研究的进展 ２ 朱　放，肖志松，周　博，燕　路，张　峰，黄安平 （北京航空航天大学物理系，北京１００１９１） 摘要：过渡金属硅化物 ＦｅＳｉ因其原料价格低廉且利于环保而成为理想的硅基发光材料之一。探讨了 ＦｅＳｉ的发光机 β ２ β ２ 理，介绍了几种 ＦｅＳｉ薄膜制备方法并比较了不同制备方法的特点，总结了最近几年来 ＦｅＳｉ的研究进展和主要研究 β ２ β ２ 结果。结合作者已经取得的结果和积累的经验，提出了提高材料发光性能方法，认为良好的结晶质量和尽可能减少缺陷 是 ＦｅＳｉ高效发光的基础，因此有必要探索新的制备方法并改善已有的制备工艺。另外，尝试在 ＦｅＳｉ薄膜中应用其 β ２ β ２ 它元素，也有可能增大发光效率；而有效激发 ＦｅＳｉ的ｐｉｎ结构也是提高发光效率的方法之一。最后，讨论了 ＦｅＳｉ β ２ β ２ 的发展趋势，展望了该种材料的发展前景。 关　键　词：ＦｅＳｉ薄膜；薄膜制备；硅基发光材料；光电集成 β ２ 中图分类号：ＴＮ３０４．０５５；Ｏ４８２．３１　　文献标识码：Ａ Ｐｒｏｇｒｅｓｓｉｎｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎａｎｄｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅｏｆ ＦｅＳｉｔｈｉｎｆｉｌｍｓ β ２ ＺＨＵＦａｎｇ，ＸＩＡＯＺｈｉｓｏｎｇ，ＺＨＯＵＢｏ，ＹＡＮＬｕ，ＺＨＡＮＧＦｅｎｇ，ＨＵＡＮＧＡｎｐｉｎｇ （ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＰｈｙｓｉｃｓ，ＢｅｉｈａｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１００１９１，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｒｏｎｄｉｓｉｌｉｃｉｄｅ（ＦｅＳｉ）ｉｓａｐｒｏｍｉｓｉｎｇｍａｔｅｒｉａｌｄｕｅｔｏｉｔｓａｄｖａｎｔａｇｅｓｏｆａｂｕｎｄａｎｔｒａｗｍａｔｅｒｉａｌｓａｎｄ β ２ ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔａｌｌｙｆｒｉｅｎｄ．ＴｈｉｓｐａｐｅｒｉｎｔｒｏｄｕｃｅｓｔｈｅｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔｍｅｃｈａｎｉｓｍｏｆＦｅＳｉ，ａｎｄｄｉｓｃｕｓｓｅｓｓｅｖｅｒａｌ β ２ ｋｉｎｄｓｏｆｐｒｅｐａｒｉｎｇｍｅｔｈｏｄｓｆｏｒＦｅＳｉｔｈｉｎｆｉｌｍｓ．Ｔｈｅｎ，ｔｈｅｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔａｎｄｒｅｓｅａｒｃｈａｃｈｉｅｖｅｍｅｎｔｓｏｆＦｅ β ２ β Ｓｉｔｈｉｎｆｉｌｍｓａｒｅｄｅｓｃｒｉｂｅｄｉｎｄｅｔａｉｌ．Ｏｎｔｈｅｂａｓｉｓｏｆａｃｈｉｅｖｅｍｅｎｔｓａｂｏｖｅａｎｄｅｘｐｅｒｉｅｎｃｅｓｂｙａｕｔｈｏｒｓ，ｉｔｅｍ ２ ｐｈａｓｉｚｅｓｔｈａｔｔ