厂务系统概述简单中文介绍.ppt

厂务系统概述 一、厂务系统功能 目录 三、厂务系统流程 二、厂务系统使用材质 一、厂务系统功能 1.1 水系统在制程中的功能 PCW 制程冷却水 制程机台冷却 UPW/DIW 超纯水 补水/清洗/稀释 Chill Water 冰水 冷却用冷源/空调用冰水 RW 回收水 DI回收/冷凝回收/再生使用 CW 自来水 原水/一般用水 1.2 气体系统在制程中的功能 CDA 压缩干燥空气 搬运器/仪器之气压缸/一般冲吹 GN2 一般氮气 Purge/洁净冲吹 PN2 纯化氮气 Purge/空间填充/超洁净冲吹 其他B-GAS 大宗气体 制程需求/空间填充/超洁净冲吹 S-GAS 特殊气体 制程填充需求/制程需求 1.3 化学系统在制程中的功能 Chemical 化学药品 清洁清洗/制程需求 1.4 真空系统在制程中的功能 PV 制程真空 吸引搬移 HV 清洁真空 尘屑吸引清洁 Pump Line 制程高真空 制程转换之高真空建立 Exhaust 排气系统 制程转换之废气排除 Drain 排水系统 制程使用之废DI/Chemical排放 1.5 排气/排水系统在制程中的功能 二、厂务系统使用材质 2.1 水系统使用材质 PCW 制程冷却水 SUS 304/高压软管 UPW/DIW 超纯水 CPVC/PVDF/PFA Chill Water 冰水 SUS 304 RW 回收水 SUS 304 CW 自来水 SUS 304 CDA 压缩干燥空气 SUS 304L AP/BA/316L BA GN2 一般氮气 SUS 316L BA/EP PN2 纯化氮气 SUS 316L EP 其他B-GAS 大宗气体 SUS 316L EP/PH2有时用双套管(EP/AP) S-GAS 特殊气体 SUS 316L EP/双套管/加热套 2.2 气体系统使用材质 2.3 化学系统使用材质 有机类 化学药品 溶剂类→SUS 316 BA 一般酸碱 化学药品 H2SO4/NaOH→PVC/CPVC 其他 化学药品 CPVC/PFA/PVDF/PTFE 2.4 真空系统使用材质 PV 制程真空 PVC SCH80/SUS 304 HV 清洁真空 PVC SCH80/SUS 304 2.5 排气系统使用材质 Pump Line 制程高真空 SUS 316 BA/EP GEX 一般排气 镀锌螺旋风管 Solvent 有机排气 SUS 304全焊式不锈钢风管 Acid/Ak 酸硷排气 不锈钢Teflon Coating风管 2.6 排水系统使用材质 Drain 一般排水 PVC/PVC SCH80 Solvent 有机排气水 SUS 304不锈钢管 Acid/Ak 酸硷排气水 PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA 三、厂务系统流程 3.1 制程冷却水系统简略流程 原水补水 膨胀水箱 冰水出 冰水进 板 热 制程管线 机台冷却 进水 回水 3.2 冰水系统简略流程 冷却水塔 MAU 冰水出 冰水回 大 气 冰水主机 冷媒循环 VAU AHU 其他空调箱 板 热 冷却水 3.3 纯水系统简略流程 精密滤器 5μM 滤心 逆渗透模块 City Water 自来水 多层过滤器 阴/阳离子 交换树脂塔 RO Tank RO进水槽 热交换器 RO 储水槽 精密滤器 1μM 滤心 CEDI 纯水储水槽 紫外线杀 菌灯 核子级树脂 精密滤器 1μM 滤心 精密滤器 0.2μM 滤心 制程使用点 3.4 自来水/回收水系统简略流程 自来水外管 水表/隔离阀 供应管线 使用点 自来水 空气中水份 冷盘/空调箱 回收管线 回收水槽 回收水 使用点 3.5 CDA/GN2/PN2系统简略流程 CDA GN2/PN2 大气 空压机 蓄压槽 初级 过滤器 冷冻式 干燥机 吸附式 干燥机 精密 过滤器 大气 氮气 产生器 液氮槽 蒸发器 减压站 过滤器 纯化器 使用点 一/二次管 二次盘 CQC 使用点 一/二次管 二次盘 CQC 3.6 其他大宗气体/特气系统简略流程 O2 Specialty Gas 钢瓶 Cabinet 气瓶柜 VMB/P 阀箱 管线 使用点 液氧储槽 减压站 过滤器 纯化器 CQC He/Ar/Kr/H2… 钢瓶/Bundle Trunker 减压站 过滤器 一/二次管 二次盘 使用点 蒸发器 使用点 一/二次管 二次盘 纯化器 CQC 管线 3.7 高真空/排气系统简略流程 Pumping Line Others Exhaust 机台制程 Chamber 真空泵 高真空 管路 Scrubber GEX 机台出口 Damper 风管 风机 高真空 管路 大气 Exhaust 风管 机台出口 Damper 风管 风机 Scrubber 大