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射频辅助N掺杂ZnO薄膜的生长及其光电特性-发光学报
29 2 V ol129 N o12
200 8 4 CH INESE JOURNAL OF LUM INESCENCE A pr. , 2008
: 1000-70 32 2008) 02-0299-05
射频辅助N掺杂 ZnO薄膜的生长及其光电特性
苏剑峰, 姚 然, 钟 泽, 傅竹西*
, 230026)
: M OCVD , N2 N-A l ZnO p
SIM S) X XRD ) AFM ) PL )
N , , A l N
ZnO , N 1020 cm- 3 ; N-A l ZnO
, N ; N-A l ZnO p , N ZnO
N , N-A l ZnO N
: ; ; N ; N-A l
: O 482. 31 PACC: 3250F; 7855 : A
ZnO N ; A l
1 引 言
, A l ZnO N ,
p ZnO N ZnO ,
, ,
[ 1]
, 2 实 验
p
[ 2~ 7] [ 11] ZnO
ZnO , ,
ÕN, , N ZnO ,
Zn C H )
, PA s, , 2 5 2
CO , N N , TMA
AX O) N ) 2 2
A l, , 100
, , N ,
[ 8] P a: ,
NO N
Zn O , ZnO, 40 m in;
ZnO N ) N
, 10 m in
N) H
[ 2] , 30 m in,
, N O
2 , ZnO
,
1 18 kW X
p ZnOBN
Cu, KA , K= 0. 154 051 nm )
1
19 - 3 [ 9]
10 cm N , N
2 SIMS N AFM
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