深结nr型Si衬底扩散技术.PDFVIP

櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶 ： ｄｏｉ １０３９６９／ ｊｉｓｓｎ１００３３５３ｘ２０１０ｚ１０１４ ＋ － 深结 型衬底扩散技术 ｎ ／ ｎ Ｓｉ 毛建军王铮任亮朱志远陈福元 ， ， ， ， （杭州杭鑫电子工业有限公司，杭州 ） ３１００５３ 摘要：自世纪年代功率晶体管问世以来，供制造高反压功率晶体管和电力电子器件 ２０ ６０ Ｓｉ － ＋ － ＋ － ＋ 用的 ， ， 型重掺杂扩散衬底片的生产和制造器件应用得到蓬勃发展尤。 ｎ ／ ｎ ｐ ／