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PECVD淀积SiO2的应用-Solarbe.PDFVIP

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  • 2018-06-06 发布于天津
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PECVD淀积SiO2的应用-Solarbe.PDF

    PECVD淀积SiO2的应用-Solarbe

    第 14卷第 1期 功能材料与器件学报 Vo l14 ,No1 2008年 2 月 JOURNAL OF FUNCTIONAL MA TER IAL S AND D EV ICES Feb. , 2008 文章编号 : 1007 - 4252 (2008) 0 1 - 0033 - 05 PECVD 淀积 SiO 的应用 2 1 1 2 1 吕文龙 ,罗仲梓 ,何熙 ,张春权 ( 1. 厦门大学萨本栋微机电研究中心 ,厦门 36 100

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