四甲基氢氧化按异丙醇水系统对硅的各向异性腐蚀-传感技术学报.PDF

年 月 传 感 技 术 学 报 第 期 四 甲基氢氧化按 异丙醇 水 系统 ‘ 对硅 的各 向异性腐蚀 马青华 鲍敏杭 沈 绍群 胡澄 宇 复旦 大 学 电子 工 程 系 摘要 本文 研 究 了在 的 四 甲基 氮氧化 按 水溶 液 中加 入 异 丙 醉 构 成 的腐伙 系统 对硅 的各 向异性 腐性特性 研 究发现 在异丙 醉含 童从 。 到 即 体积 比 的 。 大 围 , 液 对 显 的 蚀 用 , 面 比 的更 给 广 范 内 溶 硅 均有 著 腐 作 且表 质 量 纯 好 实验 、 。。 出 了腐性速 率 削角比和 各 向异性 比 等参数 与 含 堂 的关 系 结 果表 明 。 休积 与 体积 构 成 的溶 液 存 在腐蚀 速 率 的极 大 值 、 削角的极 小 值 和 最 。 , 大 的各 向异性 比 , 因之按 此 比例 配 制 的新腐蚀 液 具有表 面质 量好 与 工 艺 相 容 以及 低 成本 的优 点 关链词 硅 各 向异性 腐性 四 甲基氢氧化按 异丙 醉 引 言 各 向异性腐蚀是硅微机械加工技术 的重要 手段 目前 已得 到 广泛 应 用 的硅 各 向异性 腐蚀液有氢氧化钾水溶液和邻苯二酚 乙二胺 的水溶液