LCDITO自动检测系统设计-朱飞虎.pdfVIP

工业自动化 机机电工程技术电工程技术 年第年第 卷第卷第 期期 4040 11 LCD ITO 自动检测系统设计 朱飞虎 （深圳市泰格自动化技术有限公司， 广东深圳 518114 ） 摘要： 介绍了在LCD 生产中ITO 工艺的自动检测系统的设计， 系统采用机器视觉技术， 通过特殊光学设计和线阵相机以获取清晰 图像， 再通过图像处理软件对ITO 各类缺陷进行自动检测， 最后输出检测结果。 关键词： 机器视觉； LCD ； ITO ； 线阵相机； 图像处理； 检测系统 中图分类号： TP242．62 文献标识码： A 文章编号： 1009－9492 (2011) 01－0038－03 1 前言 液晶种类一般有TN－LCD 、 STN－LCD 和TFT－LCD 等， 随着工业生产的迅速发展， 如何快速有效进行生产检 但其生产过程比较复杂， 工艺流程大致类似， 主要包含清 测越来越受到重视， 而以往的人海战术因人工成本的猛增 洗干燥、 光刻、 取向排列、 制盒、 切割灌注、 检测等。 而 而不再受到青睐， 因此新兴检测技术如机器视觉则得到推 其中最重要最容易出问题的是光刻工艺， 其主要是按照产 广。 所谓机器视觉， 就是给机器以视觉功能以代替人眼来 品的设计要求， 在导电玻璃上涂覆光刻胶并进行曝光， 利 进行分析与判别， 即通过工业相机将被检测物体表面信息 用光刻胶的保护作用， 对导电玻璃上的 ITO （Indium Tin 转换为图像信号， 由图像处理系统进行处理， 提取所需要 Oxides ） 导电层进行选择性化学腐蚀， 从而得到所需要的 的检测特征如面积、 位置、 长度、 角度、 数量、 颜色等 图形。 在光刻完成之后， 需要对得到的图形进行检测， 以 等， 再和预设的判别依据比较， 从而输出相应判别数据或 检查是否有断路、 短路、 缺损、 凸起、 针孔、 毛边、 线距 结果。 机器视觉技术自诞生以来， 就被应用在工业自动化 或线宽过窄等缺陷， 以防止不良品流到下工序， 从而降低 控制中， 以其非接触性、 高速高精度和稳定性、 高柔性、 LCD 良率， 造成很大生产报废成本。 国内一般采用人工通 长效性以及高性价比等特点， 成为一种优秀的检测技术。 过放大镜检测， 劳动强度很大， 存在很多漏检现象， 检测 在国外， 机器视觉检测技术已经得到较广泛的应用， 但是 效率非常低， 检测效果非常不理想， 急需导入自动检测设 在国内， 目前应用还不多。 本文就机器视觉在LCD 生产中 备。 ITO 自动检测系统的设计， 加以详细说明， 以期机器视觉 和液晶行业其它主要技术一样， ITO 自动检测技术也 技术能在国内各工业检测方面得到更加广泛的应用。 基本掌握在韩国、 日本和以色列等国公司手里。 而目前 2 LCD 和ITO 生产工艺 LCD 在国内正处于大发展阶段， 因此进行ITO 自动检测系 统研发， 打破技术垄断， 具有很好的经济价值和必要性。 液晶是一种介于固态和液态之间的物质， 是具有规则 性分子排列的有机化合物， 如果加热会呈现透明状的液体 3 系统技术方案简述 状态， 冷却则会出现结晶颗粒的混浊固体状态。 液晶显示 本检测系统采用机器视觉技术来实现整个自动检测