用于视觉假体的柔性生物微电极阵列的设计和制作传感技术学报.PDFVIP

第 22 卷 　第 1 期 传 感 技 术 学 报 Vol . 22 　N o . 1 2009 年 1 月 CHIN ES E J OU RNAL O F S EN SORS AND AC TUA TORS J an . 2009 Design and Fabrication of Flexible Microelectrode Arrays f or Retinal Prostheses WA N G Yaj un , YA N G Ch u ns heng , L I U J i ngqu an , S H E N X i ucheng , GUO Z hongy uan N at ional Key L aborat ory of N ano/ M icro F abricat ion Technol ogy , Key L aborat ory f or Thi n Fi l m an d M icrof abricat ion of M i ns t ry of E d ucat ion , I ns t it ute of M ico an d N ano S cience an d Technology , S hang hai J i aotong Uni vers ity , S hang hai 200240 , Chi na Abstract :Thi s p ap er p re sent s t he de sign and t he p roce ss flow of Paryleneba sed flexible 5 ×5 microelec t ro de ar ray s. Trough t he p hotore si st t her mal meltin g t echnolo gy , t he elect ro de s have an app ro ximat ely μ μ sp herical shap e . The height of t he elect ro de of 60 m diamet er i s about 24 m . The elect ro de can confor m to t he geo met ry of t he retina becau se of it s flexibilit y , an d it s t ran sp arency will be f avorable for t he imp lant of t he elect ro de in sur gery and ob servation s of t he ti ssue durin g exp eriment s. Key words :retinal p ro st he se s ; p arylene ; p hotore si st melting ; microelect ro de ar ray s ; M EM S EEACC :7230J 用于视觉假体的柔性生物微电极阵列的设计和制作 王亚军 ,杨春生 ,刘景全 ,沈修成 ,郭忠元 (上海交通大学微纳科学技术研究院 ,微米/ 纳米加工技术国家级重点实验室 ,薄膜与微细技术教育部重点实验室 ,上海 200240) 摘 　要 :提出了一种用于视网膜假体的基于 Parylene 的柔性微电极阵列的设计和制作 。微电极阵列为 5 ×5 ,通过光刻胶热 μ μ 熔回流技术形成的电极点为半球形凸起 ,底部直径为 60