6大激光干涉仪影响因素,提高数控机床检测准确度全靠它了.pdfVIP

中图仪器 6 大激光干涉仪影响因素，提高数控机床检测准确度全靠它了！ 激光干涉仪是精度最高的线性位移测量仪器，其光波可以直接对米进行定义，可溯源至 国家标准，通过与不同的光学组件结合，可以实现对各类机床的线性、角度、平面度、直线 度（平行度）、垂直度、回转轴等参数的精密测量，并能对设备进行速度、加速度、频率- 振幅、时间-位移等动态性能分析，在相关软件的配合下，可自动生成误差补偿方案，为设 备误差修正提供依据。 但是我们在使用中往往会出现检测偏离值，偏离我们的预估，以至于在高精度检测时， 对设备产生怀疑。今天我们来扒一扒引起激光干涉仪测量误差的部分原因。 1、阿贝误差 因测量光学镜组的安装高度不在被测设备的运动轴上引起的测量误差称之为阿贝 误差。产生的原因是设备移动时存在俯仰、扭摆差，因此光学镜组与运动轴偏置距离越 远，引起的阿贝误差越大。 实测位置 理论值 偏置距离 运动轴 角度、偏置距离引起的误差表 （单位：um ） 角度 偏置距离（mm） （″） 5 10 50 100 500 1 0.024 0.048 0.24 0.48 2.40 2 0.048 0.097 0.48 0.97 4.80 5 0.120 0.240 1.20 2.40 12.00 10 0.240 0.480 2.40 4.80 24.00 20 0.480 0.970 4.80 9.70 48.00 60 1.450 2.900 14.50 29.00 145.00 上表可得：角度1″在500mm 偏置距离下引起的误差大约是2.40um 。 来个实际案例：以检测机床时不同安装高度为具体说明。 线性镜组安装距工作台10cm： 1 中图仪器 线性镜组安装距工作台30cm 2 中图仪器 线性镜组安装距工作台50cm 3 中图仪器 实验结果：按GB/T17421.2 《机床检验通则》2000 版分析标准得出结果，镜组安装高 度偏离设备运动轴线越远，检测结果中重复精度以及定位精度就越差。 偏置距离 反向差值 双向重复精度 双向定位精度 10cm 1.30um 5.36 um 11.82 um 30cm 1.38 um 16.50 um 28.99 um 50cm 1.26 um 27.99 um