长波长垂直腔面发射激光器研究!.PDFVIP

物理学和高新技术 长波长垂直腔面发射激光器研究! . 谢正生- - 吴惠桢 - - 劳燕锋- - 刘- 成- - 曹- 萌- - 曹春芳 （中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室- 上海- /00010 ） 摘- 要- - 垂直腔面发射激光器（简称23456 ）近年来受到了国内外科技界和企业界的高度关注，它在光通信领域具 有潜在的应用 文章主要介绍了长波长垂直腔面发射激光器的发展历史、基本应用、器件结构、材料和制备工艺，最后 分析了研制长波长23456 所遇到的问题及相应解决方法，并进行了展望 关键词- - 垂直腔面发射激光器（23456 ），布拉格反射镜（789 ），有源层，键合，隧道结 !#$%’()*)#$+, ()-+./’*%/’(.+0 12-3’/)%)4.++.#$ *’1)-1 . :;5 !=,?4!=,- - @A B’)?!=, - - 6CD E*,?F=,- - 6;A 3!=,- - 3CD G=,- - 3CD 3!’,?F*, （!#$ %$ ’#()*#)* )+ ,-./0).#1 2#$*0#13 + )* 4.+ )*5#0/3 ，!6#.76#0 4.30-$ )+ 20/*)33$5 #.8 4.+ )*5#0). 9$/6.)1)7 ，:60.$3$ ;/#8$5 )+ !/0$./$3 ，!6#.76#0 /00010 ，:60.# ） 561+-’/+7 7 ;, H=+=, I=*HJ K=H)+*( L +*K)I J’HM*+= L =N)), (*J=HJ （23456J ）!*K= *HO’J=P H=* ),=H=J *? NO,J J+)=,)JJ *,P =,=H#H)J=J ), 3!),* *,P *QHO*P ，*J !=I !*K= %)P= #O=,)*( *##()+*)O, ), != O#)+*( +ON? N’,)+*)O,J M)=(P @= H=K)=% != !)JOHI ，*##()+*)O,J ，P=K)+= JH’+’H=J ，N*=H)*(J *,P M*QH)+*)O, OM (O, %*K=? (=,! 23456J 3’HH=, #HOQ(=NJ *,P #OJJ)Q(= JO(’)O,J ), !=)H H=J=*H+! *,P P=K=(O#N=, *H= #H=J=,=P *J %=(( *J !=)H M’’H= #HOJ#=+J 8)0-917 7 K=H)+*(?+*K)I J’HM*+=?=N)), (*J=HJ ，P)JH)Q’=P 8H* H=M(=+OHJ ，*+)K= (*I=H ，QO,P), ，’,,=( R’,+)O, （/ ）出光方向与衬底表面垂直，易实现横向光 T- 引言 场限制，易制作二维阵列 （S ）可在器件工艺或封装完成前通过芯片检测 近年来，垂直腔面发射激光器的研究是半导体 进行产品筛选，提高了成品率，降低了成本 光电子器件领域的一个热点，可作为低成本高性能 （U ）预先埋入有源层，可期待较长的器件寿命 激光光源，在光纤通信网络、光发射机、高速数据传 （1 ）出射光束为圆形，发散角小，易与光纤及其 输、光信息处理、光互连、光交换、光计算、多处理器 他光学元件耦合，且耦合效