油扩散泵工作原理附性能计算.docVIP

油扩散泵的工作原理及性能计算/pump/molecular260.html 1．概述????油扩散泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似，都是靠高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目的，故有如水蒸汽喷射泵相似的特点。不同点是扩散泵工作在高真空区域，其工作压强范围为10-2～10-6pa。广泛用于电子、化工、冶金、机械、石油及原子能等工业部门中。2．油扩散泵的工作原理与结构????图3是扩散泵的结构示意图。 当油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷出后，其速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低，射流上边的被抽气体A因密度差要向蒸汽射流中扩散并被射流携带到水冷的泵壁处B，在B处，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油锅中循环使用，而被抽气体在B处堆积、压缩，最后被下级射流携带走，以达到逐级压缩，最后被前级泵抽走。其抽速特性曲线如图4所示。 3．扩散泵的性能计算 (1)扩散泵的抽速S的计算[1]????????(4)式中 ω——蒸汽射流的平均速度R(L)、R(O)——分别表示泵筒与喷咀帽的直径a——蒸汽射流与泵壁的夹角D——气体在射流中的扩散系数(2)扩散泵每级最大压缩比(P2／P1)max的计算????????(5)式中ω、D——意义同(4)L——蒸汽射流长度(3)蒸汽射流流谱的计算????扩散泵各级蒸汽射流的工作压强范围为10-2～l0-6Pa