MEMS接触电容式高温压力传感器的温度效应.pdfVIP

第27卷 第 12期 电子测量与仪器学报 ％f．27 Ⅳ0．12 2013年 12月 JOURNALOFELECTRONICMEASUREMENTANDINSTRUMENT · 1141· DOI：10．3724／SP．J．1187．2013．0l141 MEMS接触 电容式高温压力传感器的温度效应 郑志霞 冯勇建 (1．莆田学院电子信息工程系 莆 田 351100；2 厦门大学机电工程系 厦门 361005) 摘 要：介绍了一种基于SOl／硅片键合技术制作的接触电容式高温压力传感器结构，并对传感器的测试装置、测试方法 进行详细的介绍后，对传感器进行压力测试和温度特性测试。压力测试结果表明，传感器线性工作区压力为 110～ 280kPa，灵敏度约为0．14pF／kPa；温度特性测试结果表明，传感器具有正温度效应，在30～300％，传感器输出误差约为 0．5％。文中还分析了热胀冷缩及介电常数温度系数对传感器温度效应的影响，以及设计了参考电容及运算放大器式传感 器测量电路来消除温度效应。 关键词：接触电容；传感器 ；压力测量；温度效应 ；运算放大器 中图分类号 ：TP212；TN99 文献标识码 ：A 国家标准学科分类代码：460．4020 TemperatureeffectofMENShightemperature touch-modecapacitivepressuresensor ZhengZhixia FengYongjian (1．DepartmentofElectronicInformationEngineering，PutianUniversity，Putian351100，China； 2．DepartmentofMechanicElectronicEngineering，XiamenUniversity，Xiamen361005，China) Abstract：ThispaperintroducesthestructureoftheMEMShightemperaturetouch-modecapacitivepressuresensor whichisbasesontheSOUSiliconfusionbondingtechnique．Itstestingdeviceandmethodarepresentedindetail， andthetestsonthesensor’Spressureandtemperatureareconductedinhightemperature．Theresultsofthepres— suretestshow thatthelinearoperatingrangeofthesensorisabout110——280kPaand itssensitivity isabout 0．14pF／kPa．Theresultsofthetemperaturetestrevealthatthesensorhasapositivetemperatureeffectanditsout- puterrorrateisabout0．5％ inatemperaturerangeof30～300oC．Alsothepaperanalyzestheinfluenceofheat expansionandcoldcontraction，aswellasthetemperaturecoefficientofpermittivity，onthesensorstemperature effect，anddesignsthereferencecapacitanceandop-amp sensormeasurementcircuittoeliminatethetemperature effect． Keywords：touch—modecapacitance；sensor；pressuretest；temperatureeffect；0p—amp 1 引 目 要 ¨。从航空航天、石油化工用的仪器到涡轮发