硅电容压力传感器及其产业化.PDFVIP

硅电容压力传感器及其产业化 徐开先 徐开先先生， 沈阳仪表科学研究院教授级高级工程师。 关键词：压力传感器 硅电容式 产业化 压力传感器作为工业自动化仪表——特别是变送器类仪表、重要的检测元件，其原理通 常有谐振型、压阻型、电容型等，代表产品分别有横河公司的 EJA 系列硅谐振传感器、 Honeywell 的ST-3000 系列硅压阻传感器、Rosemount 的CDS-3151 系列金属电容传感器。 近年来，硅电容压力传感器作为变送器的重要检测元件越来越受到业界的重视和青睐，其原 因是硅电容压力传感器与其他原理的压力传感器相比，有其明显的特点和优势。 一 硅电容压力传感器的特点 硅电容压力传感器是利用硅基材料，应用电容原理，采用 MEMS 工艺制作的一类新型 压力传感器。具有以下特点： (1)稳定性好 硅电容压力传感器是一种结构型压力传感器，就检测原理而言，其稳定性就对温度不灵 敏、温度附加误差小，不像硅压阻器件那样需进行复杂的温度补偿。稳定性好是硅电容压力 传感器深受用户好感的主要原因之一，也是国产压力传感器长期存在不能产业化的原因之 一。 (2)指标先进 电容压力传感器本身具有小功率、高阻抗、静电引力小、可动质量小、发热影响小的特 点。硅电容压力传感器综合性能指标如非线性、过载、静压、可靠性等性能优于硅压阻压力 传感器、陶瓷电容压力传感器、金属膜片电容压力传感器，与硅谐振压力传感器相当。 (3)适合批量生产，成本低 硅电容压力传感器利用 MEMS 工艺制作，芯片尺寸为 9mm×9mm，1 个 4 寸硅片可制 作近百个元件。产品的工艺性好，性能一致，适合批量生产，低成本运行。其制备工艺与 IC 工艺兼容，工艺装备无须像硅谐振压力传感器那样昂贵和复杂，也无须像金属膜片电容压力 传感器那样单件制作，保证了硅电容压力传感器有高的性能价格比。 (4)配套性好 硅电容压力传感器是专为各类变送器配套而设计的，小巧、坚固、抗震、标准接口，由芯片、 芯体、受压部以 OEM 形式与各类变送器配套，变送器厂家可根据自己的实际情况选择芯片、 芯体、或受压部与之配套，与变送器易实现数字化技术，提升变送器的智能化水平。 (5)完全自主知识产权、民族品牌 硅电容压力传感器从设计、制备、工艺、测试、工装设备到标准、规范等，完全具有独 立的自主知识产权，产品所用原材料全部国产化，结束了我国变送器类产品检测元件依赖国 外的历史。 硅电容压力传感器的缺点是：制备工艺要求高，工序多，对小电容信号检测困难。 二 变送器用压力传感器国内外现状 上世纪 90 年代，随着 MEMS 技术的成熟、微电子技术特别是数字技术的发展，工业 自动化仪表迫切要求新型的、高精度的、稳定性好的检测器件，对各种检测原理重新进行审 视和评估，以硅基材料为主的检测原理有硅谐振式、硅压阻式、硅电容式。国外对这 3 种 原理的压力传感器及其相应的变送器生产已经十分成熟，并占有相当的国内变送器市场，在 国内建立了独资或合资公司。但至今为止，以国内自有技术，与变送器配套，能产业化生产 的压力传感器尚未出现。某些压力传感器原理制成的变送器性能比较如表所示。 硅电容压力传感器与其他压力传感器相比： (1)与机械型(膜盒型) 电容压力传感器相比，硅电容压力传感器具有性能好，性价比高， 适合大批量生产，易与电子电路匹配等优点。 (2)与硅压阻型压力传感器相比，硅电容压力传感器具有温度附加误差小，性能稳定， 可靠，补偿简单等优点。 (3)与硅谐振型压力传感器(EJA)相比，硅电容压力传感器与其技术指标相当，但性价比 高，工艺与 IC 兼容，不需昂贵的工艺装备。 (4)与陶瓷电容型压力传感器相比，硅电容压力传感器体积小，线性好，稳定可靠，量 程比宽。 (5) 由硅电容压力传感器作为检测元件的差压变送器具有线性好，灵敏度高，温度误差 小，过载能力强，动态响应快，性能稳定，易实现数字化等特点。 三 硅电容压力传感器的制备 1. 硅电容压力传感器芯体设计、理论计算 硅电容压力传感器的核心器件在原理上可简单视为中心可动电极与两端固定电极的两 可变平板电容结构即差动电容原理，目的是提高灵敏度、减小非线性。检测原理如图所示： 上下极板为玻璃，中间极板为 Si 材料的 E 型梁-膜-岛结构，用 MEMS 工艺制作，