传感器与检测技术课件宋雪臣第10章节数字式传感器及应用.pptVIP

第10章数字式传感器及应用 引言 信号的检测、控制和处理已进入到数字化时代。通常采用模拟式传感器获取模拟信号，利用A/D转换器将模拟信号转换成数字信号，再用微机和其他数字设备进行处理，这种方法简便易行，但系统的构成也很复杂。 数字式传感器就是为了解决这些问题而出现的，它能把被测模拟量直接转换成数字信号输出。 目前，常用的数字式传感器有4大类：（1）栅式数字传感器；（2）编码器式数字传感器；（3）频率/数字输出式数字传感器；（4）感应同步器式数字传感器。 主要章节 10.1栅式数字传感器 10.2编码器 10.3感应同步器 10.4频率式数字传感器 10.1栅式数字传感器 根据工作原理，可分为光栅和磁栅两种。 光栅是由很多等节距的透光缝隙和不透光的刻线均匀相间排列构成的光电器件。 按其原理和用途，分为物理光栅和计量光栅。物理光栅利用光的衍射现象，主要用于光谱分析和光波长等量的测量。计量光栅主要利用莫尔现象，测量位移、速度、加速度、振动等物现量。计量光栅又有透射光栅和反射光栅之分，具体制作时又可制作成线位移的长光栅和角位移的圆光栅。 本节主要介绍透射式的长度计量光栅。它是利用光栅莫尔条纹现象，把光栅作为测量元件，具有结构原理简单、测量精度高等优点，在数控机床和仪器的精密定位或长度、速度、加速度、振动测量等方面得到了广泛应用。 10.1.1 光栅的类型和结构 在计量工作中应用的光栅称为计量光栅。从光栅的光线走向来看，可分为透射式光栅和反射式光栅两大类。透射式光栅一般用光学玻璃做基体，在其上均匀地刻划上等间距、等宽度的条纹，形成连续的透光区和不透光区。反射式光栅用不锈钢做基体，在其上用化学方法制作出黑白相间的条纹，形成强反光区和不反光区。 光栅的外形及结构 光栅的外形及结构（续） 光栅刻线 计量光栅按其形状和用途分类 长光栅 又称为光栅尺，用于长度或直线位移的测量。 圆光栅 又称为光栅盘，用来测量角度或角位移。 长光栅 圆光栅 10.1.2 光栅的工作原理 计量光栅的基本元件是主光栅和指示光栅。它们是在一块长条形光学玻璃上，均匀刻上许多明暗相间、宽度相等的刻线。主光栅的刻线一般比指示光栅长。 若将两块光栅（主光栅、指示光栅）叠合在一起，并且使它们的刻线之间成一个很小的角度θ，由于遮光效应，两块光栅的刻线相交处形成亮带，而在一块光栅的刻线与另一块光栅的缝隙相交处形成暗带，在与光栅刻线垂直的方向，将出现明暗相间的条纹，这些条纹就称为莫尔条纹。 莫尔条纹演示 光栅与莫尔条纹示意图 2.横向莫尔条纹的特点 （1）放大作用 光栅具有位移放大作用，提高了测量的灵敏度。 （2）平均效应 莫尔条纹由大量的光栅栅线共同形成，所以对光栅栅线的刻划误差有平均作用。通过莫尔条纹所获得的精度可以比光栅本身栅线的刻划精度还要高。 （3）运动方向 光栅位移与光强关系 4）对应关系 两块光栅沿栅线垂直方向作相对移动时，莫尔条纹的亮带与暗带将顺序自上而下不断掠过光敏元件。光敏元件接受到的光强变化近似于正弦波变化。光栅移动一个栅距W，光强变化一个周期。 （5）莫尔条纹移过的条纹数等于光栅移过的栅线数 例如采用100线/mm光栅时，若光栅移动了xmm（即移过了100x条光栅栅线），则从光电元件前掠过的莫尔条纹数也为100x条。由于莫尔条纹间距比栅距宽得多，所以能够被光敏元件识别。将此莫尔条纹产生的电脉冲信号计数，就可知道移动的实际位移。 10.1.3 光栅式传感器的测量电路 计量光栅作为一个完整的测量装置包括光栅读数头、光栅数显表两大部分。光栅读数头把输入量（位移量）转换成相应的电信号；光栅数显表是实现细分、辨向和显示功能的电子系统。 1.光电转换 光电转换装置（光栅读数头）主要由主光栅、指示光栅、光路系统和光电元件等组成 。 输出电压反映了位移量的大小 莫尔条纹是一个明暗相间的光带。两条暗带中心线之间的光强变化是从最暗、渐亮、最亮、渐暗直到最暗的渐变过程。主光栅移动一个栅距W，光强变化一个周期，若用光电元件接收莫尔条纹移动时光强的变化，则将光信号转换为电信号，接近于正弦周期函数，如以电压输出，即 光电元件输出波形 2.辨向原理 光栅是正向移动还是反向移动，莫尔条纹都做明暗交替变化，光电元件总是输出同一规律变化的电信号，此信号只能计数，不能辨向。为此，必须设置辨向电路。 辨向电路 3.细分技术 为了提高分辨力，可以采用增加刻线密度的方法来减少栅距，但这种方法受到制造工艺或成本的限制。另一种方法是采用细分技术，可以在不增加刻线数的情况下提高光栅的分辨力，在光栅每移动一个栅距，莫尔条纹变化一周时，不只输出一个脉冲，而是输出均匀分布的n个脉冲，从而使分辨力提高到W/n。由于细分后计数脉冲的频率提高了，因此