传感器与检测技术课件作者魏学业第8章节光电式传感器.pptVIP

（2）T法测速 测量相邻两个脉冲的时间来测量速度，称为T法测速。T法测速的原理是用一已知频率f（此频率一般都比较高）的脉冲向一计数器发送脉冲，计数器的起停由码盘反馈的相邻两个脉冲来控制，其测速原理上图（b）所示。若计数器读数为 ，则电机每分钟转速为: 其式中：N为码盘一圈发出的脉冲个数，即码盘线数。 T法适合于测量较低的速度，这时能获得较高的分辨率。 8.5 计量光栅 等间距的透光和不透光的刻线均匀相间排列构成的光学器件称为光栅。光栅分为物理光栅和计量光栅。物理光栅是利用光的衍射现象分析光谱和测定波长的一种光栅；计量光栅是利用光的莫尔条纹现象实现精密测量位移的一种光栅。本节主要介绍计量光栅。 计量光栅是由两块明暗间隔相等的光栅面对面叠合形成莫尔条纹的情况下使用的，作为一个完整的测量装置包括光栅读数头、光栅数显表两大部分。它主要应用于线位移和角位移的测量。在高精度加工机床、光学坐标镗床、制造大规模集成电路的设备及检测仪表等领域应用比较广泛。 光电转换装置（光栅读数头）利用光栅原理把输入量（位移量）转换成响应的电信号的装置，光栅数显表是实现细分、辨向和显示功能的电子系统。光栅传感器是根据莫尔条纹原理制成的，它主要用于线位移和角位移的测量。由于光栅传感器具有高精度、测量范围大、易于实现测量自动化和数字化等特点，所以目前光栅传感器的应用已扩展到测量与长度和角度有关的其他物理量，如速度、加速度、振动、质量、表面轮廓等方面。 12.5.1 光栅的结构及工作原理 1．光栅结构 光栅传感器由照明系统、光栅副和光电接收元件组成，如下图所示。主光栅（标尺光栅）和指示光栅组成了光栅副，它是光栅传感器的主要部分。在长度计量中应用的光栅通常称为计量光栅，主光栅的有效长度即为测量范围。指示光栅的有效长度比主光栅短得多，但两者一般刻有同样的栅距，使用时两光栅互相重叠，两者之间有微小的空隙。光电接收元件的作用是把光信号转换成电脉冲信号。照明系统是光源部分。 光栅传感器的结构 1—标尺光栅；2—指示光栅；3—光电元件；4—光源 主光栅一般固定在被测物体上，且随被测物体一起移动，其长度取决于测量范围，指示光栅相对于光电元件固定。当主光栅相对于指示光栅移动时，形成的莫尔条纹产生亮暗交替变化，利用光电接收元件，将莫尔条纹亮暗变化的光信号，转换成电脉冲信号，并用数字显示，从而测量出标尺光栅的移动距离。 （1）照明系统 照明系统的光源通常有钨丝灯泡和半导体发光器件。钨丝灯泡的输出功率较大，工作范围较宽（-40℃~+130℃），与光电元件相组合的转换效率低。在机械振动和冲击条件下工作时，使用寿命将降低。 半导体发光器件，如砷化镓发光二极管，转换效率高，响应特征快速。砷化镓发光二极管与硅光敏三极管相结合，转换效率最高可达30%左右。砷化镓发光二极管的脉冲响应速度约为几十ns纳秒，可以使光源工作在触发状态，从而减小功耗和热耗散。 （2）光栅 在一块长条形镀膜玻璃上均匀刻制许多有明暗相间、等间距分布的细小条纹（又称为刻线），这就是光栅。在光栅传感器中，光栅由指示光栅和主光栅组成，指示光栅一般比主光栅短得多，通常刻有与主光栅同样密度的线纹。图中a为栅线的宽度（不透光），b为栅线间宽（透光），a+b=W称为光栅的栅距（也称光栅常数）。通常a=b=W/2，也可刻成a∶b=1.1∶0.9。目前常用的光栅每毫米刻成25、50、100、125、250条线条。 透射长光栅 2．光栅测量原理 （1）莫尔条纹的形成原理 按照光学原理，对于栅距远大于光波长的粗光栅，可以利用几何光学的遮光原理来解释莫尔条纹的形成。如下图（a）所示，当两个有相同栅距的光栅合在一起时，其栅线之间倾斜一个很小的夹角θ，于是在近乎垂直于栅线的方向上出现了明暗相间的条纹，这种条纹叫做莫尔条纹。例如，在h线上，两个光栅的栅线彼此重合，从缝隙中通过光的一半，透光面积最大，形成条纹的亮带；在g线上，两光栅的栅线彼此错开，形成条纹的暗带；当a=b=W/2时，g线上是全黑的。当夹角θ减小时，条纹间距B增大，调整夹角θ可获取所需的条纹间距。 （2）莫尔条纹的宽度 横向莫尔条纹的宽度B与栅距W和倾斜角θ之间的关系，可由图8（b）求出（当θ角很小时）： （8-1） 莫尔条纹原理： 由此可见，莫尔条纹的宽度由θ决定。对于给定光栅常数W的两光栅，夹角θ愈小，条纹宽度愈大，即条纹愈稀。通过调整θ，可以使条纹宽度具有任何所需要的值。 （3）莫尔条纹的特点： 式（8-1）说明莫尔条纹具有以下特点： 对位移的光学放大作用：即把极细微的栅线放大为很宽的条纹，便于测试。 连续变倍的作用：其放大倍数可通过使θ角连续变化，从而获得任意粗细的莫尔条纹。 对光栅刻线的误差均衡作用：光栅的刻线误差是不可避免的。由于莫尔条纹