微波烧结对纳米ZnO气敏元件性能改进研究.pdfVIP

74 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 2010年第29卷 第9期 微波烧结对纳米 ZnO气敏元件性能改进研究 丁 红 ，柏 自奎 (1．上海第二工业大学 计算机学院，上海 201209； 2．华中科技大学 材料学院 塑性成型及模具技术国家重点实验室。湖北 武汉 430074) 摘 要 ：分析了微波烧结的原理和特点，并将其引入气敏元件的制备工艺中，研究微波烧结工艺对纯纳米 ZnO厚膜阵列元件的气敏性和稳定性的影响。实验表明：微波烧结ZnO厚膜时间越长，厚膜电导和敏感 性越小。在2O，4O，60min3种烧结对比中，20min烧结的元件具有最好的敏感性和最低的最佳敏感温度， 60min烧结的元件具有最好的稳定性。可见微波烧结可以有效调控气敏元件的敏感性和稳定性，是一种 值得推广的新的气敏元件的制备技术。 关键词 ：微波烧结；纳米ZnO；气敏性能；稳定性 中图分类号：TP212．9