财团法人国家试验研究院国家奈米元件试验室光罩委托制作须知.PDFVIP

財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室光罩委託製作須知 ■ 光罩出貨 1. 受限於本實驗室設備製程限制，最小製作圖案尺寸為 2μm ，光罩圖案誤差值：2~5μm的圖案為 ±20% ，5μm的圖案為 ±10% ，檢驗儀器為光學顯微鏡，檢查點為申請者所標示的最小圖案，共3 個位置，無法整片檢查。 2. 本實驗室無光罩修飾設備且受限於手動阻劑塗佈及濕式蝕刻製程，故無法提供完全無缺點的光罩。 3. 限於人力、設備及材料，本實驗室無法提供光罩檢驗報告；光罩出貨超過 1個月者，恕無法接受 退貨重做。 4. 無法接受以上 3點者，請勿下單委託。 ■ 光罩收費 1.曝光時間每小時收費 13020 元(學界) 、26000 元( 業界) ，不足一小時，以一小時計之；審查費用: 900 元時（以上費用，若無貴儀經費補助，請用現金支付）；石英光罩每片加收現金/ 4000 元; 玻璃光 罩每片加收現金 1000 元（93 年 4月 1日起生效）。收費標準若有變動，請以本實驗室公告為準。 2. 自 100 年 8月 1日起收取現金 10%（曝光時間每小時收費13020 元，不足一小時，以一小時計之）。 ■ 10% 收現說明 自 100 年 8月 1日起將收取現金 10%的委託代工費用，詳細規定及說明請參閱本實驗室網頁最新 公告。 ■ 光罩申請流程 1. 請詳閱本實驗室光罩委託製作須知並自行完成光罩圖檔設計，於本實驗室的 對外服務系統 及 MES 系統完成光罩委託申請。 2. 請於本實驗室首頁的 對外服務系統完成光罩委託申請，申請流程請參閱：單站委託製程申請流程 - 光罩委託製作申請流程 。 3. 請於本實驗室 MES 系統完成光罩委託製程編輯，製程編輯流程請參閱：MSE 系統製程編輯流程- 光罩委託製作 。 4. 請將圖檔 E-Mail （請註明申請單編號及聯絡電話）給光罩圖檔審查者或於MES 系統上傳光罩圖檔 後，等候通知現場確認圖檔時間（約 1~2個工作天完成初步審核並以電話或 E-Mail通知申請者， 若光罩委託製作申請者非申請單上的申請人，請於寄圖檔時註明姓名、 E-Mail及聯絡電話）。光 罩圖檔審查者的電話及 E-Mail請查閱本實驗室網頁： .tw/web/department/lookup_device.php 。 5. 請於約定時間到本實驗室光罩接單室現場確認光罩圖檔及光罩代工條件，圖檔及相關代工條件確 認無誤後，將於 MES 系統進行報價作業，經本實驗室估價後，若申請者接受估價，就可以於對外 服務系統 列印出該光罩之單站委託製程申請單，請計畫主持人簽名並回傳給光罩接單人員(E-mail 或紙本均可 ) 。若圖檔有錯誤需修改或代工條件不確定，待新圖檔完成或條件確定後請重新等候通 知現場確認圖檔時間。 6. 接受委託後，若經電子束光罩製作系統轉檔切割後有異常訊息或需要修改圖檔，請重新送件委託。 7. 光罩製作完成 （約1~4週）後將轉交本實驗室客服中心（新竹），客服中心將 E-Mail通知申請者 取件，繳費及取件等後續事宜由客服中心統一處理，請申請者於接到通知後向客服中心詢問（簡 秀芳小姐，分機 :7610) （若服務窗口有異動，請查閱本實驗室網頁）。 8. 自 100 年 8月 1日起將收取現金 10%的委託代工費用，相關新增申請流程及注意事項請參閱： 10% 收現說明 。詳細規定及說明請參閱本實驗室網頁最新公告。 ■單站委託製程申請流程 -光罩委託製作申請流程 1. 點選本實驗室首頁 (.tw/web/index.html)右上方的 『會員入口 』，進入『對外 服務系統登入 』，並輸入個人帳號及密碼（請注意英文字大小寫）。 2. 進入『製程與設備服務』中的『設備委託操作申請 』畫面。 3. 點選最右邊『 提出申請 』。 4. 設備分類， 選『 奈米元件廠』。 5. 設備選擇，選『 CF-L02A –光罩製作服務』。 6. 點選『 下一步 』，會出現申請人之個人相關資料（請注意必填欄位），若計畫主持人或計畫編號等 沒有您所需要的資料，請詢問本實驗室客服中心（簡秀芳小姐，分機 :7610) （若服務窗口有異動， 請查閱本實驗室網頁）。 7. 完成上述步驟，確認相關資料與代工條件無誤後，點選