多稀薄超音速喷流与壁面间交互作用之研究(II).PDF

行政院國家科學委員會專題研究計畫 成果報告 多稀薄超音速噴流與壁面間交互作用之研究(2/2) 計畫類別：個別型計畫 計畫編號：NSC91-2212-E-009-045- 執行期間：91年08月01日至92年07月31日 執行單位：國立交通大學機械工程研究所 計畫主持人：吳宗信 報告類型：完整報告 處理方式：本計畫可公開查詢 中 華 民 92年12月9日 國 x 成果報告 行政院國家科學委員會補助專題研究計畫 期中進度報告 多稀薄超音速噴流與壁面間的交互作用研究(2/2) Interaction of Multiple Rarefied Under-expanded Supersonic Jets With Solid Walls (2/2) 計畫類別：X個別型計畫 □整合型計畫 計畫編號：NSC91-2212-E-009-045 執行期間：91 年8 月1 日至92 年7 月31 日 計畫主持人：吳宗信 共同主持人： 計畫參與人員： 周欣怡 曾坤樟 成果報告類型(依經費核定清單規定繳交)：x精簡報告 □完整報告 本成果報告包括以下應繳交之附件： □赴國外出差或研習心得報告一份 □赴大陸地區出差或研習心得報告一份 □出席國際學術會議心得報告及發表之論文各一份 □國際合作研究計畫國外研究報告書一份 處理方式：除產學合作研究計畫、提升產業技術及人才培育研究計畫 、 列管計畫及下列情形者外，得立即公開查詢 □涉及專利或其他智慧財產權，□一年□二年後可公開查 詢 執行單位：國立交通大學機械工程學系 中 華 民 92國年 10月 20 日 1 行政院國家科學委員會專題研究計畫期末報告 多稀薄超音速噴流與壁面間的交互作用研究(2/2) Interaction of Multiple Rarefied Under-expanded Supersonic Jets With Solid Walls (2/2) 計畫編號： NSC91-2212-E-009-045 執行期限：91 年8 月1 日至92 年7 月31 日 主持人：吳宗信* 國立交通大學機械工程學系 中文摘要 under-expanded supersonic jet) as sources for thin 本計畫提議針對單一噴流、多噴流以及壁面 film deposition in semiconductor industry [e.g., 4]. 的交互作用，以實驗及數值分析的方法做一詳細 This process allows the heavier precursor molecules 的探討與研究。本文章主要描述本計畫期末報 to be accelerated to a high kinetic energy (1 eV), 告，包括：(1) 將單一或雙噴流之交互作用進行流 under which the reactive sticking coefficient of